[发明专利]电磁波屏蔽用金属箔、电磁波屏蔽材料和屏蔽电缆

说明书

提供耐腐蚀性良好、低成本的电磁波屏蔽用金属箔、电磁波屏蔽材料和屏蔽电缆。[课题]在由金属箔1形成的基材的一个面或两面形成有Sn‑Ni合金层2，在该Sn‑Ni合金层的表面形成有氧化物3，Sn‑Ni合金层含有20‑80质量%Sn，厚度为30‑500nm，距最表面的深度设为Xnm，通过XPS进行深度方向分析，Sn的原子浓度(%)设为A_Sn(X)、Ni的原子浓度(%)设为A_Ni(X)、氧的原子浓度(%)设为A_o(X)且A_o(X)=0时的X设为X_o时，30nm≧X_o≧0.5nm，且区间[0,X_o]中满足0.4≧∫A_Ni(X)d_X/∫A_Sn(X)d_X≧0.05。

技术领域

本发明涉及层合有树脂层或树脂膜、用于电磁波屏蔽材料的金属箔，使用该金属箔的电磁波屏蔽材料和屏蔽电缆。

背景技术

镀Sn被膜具有耐腐蚀性优异、且焊接性良好从而接触电阻低的特征。因此，例如作为车载电磁波屏蔽材料的复合材料，在铜等的金属箔上镀Sn使用。

上述的复合材料采用以下结构：在由铜或铜合金箔形成的基材的一个面上层合树脂层或膜，在另一面上形成镀Sn被膜(参照专利文献1)。

还开发了在铝或铝合金箔的表面形成锌置换镀层、镍电镀层、或锡电镀层，由此使耐湿性、耐腐蚀性得到改善的多层镀层铝(合金)箔(参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开WO2009/144973号

专利文献2：日本特开2013-007092号公报。

发明内容

发明所要解决的课题

车载电磁波屏蔽材料要求对汽车的排气中所含NO_X、SO_X的耐腐蚀性和对盐水的耐腐蚀性。Sn镀层柔软，因此即使表面腐蚀而形成氯化物或氧化物，与对象材料接触则氯化物等容易被削去，新的纯Sn在表面露出。因此Sn镀层的耐腐蚀性优异，即使在腐蚀环境下也可以保持低接触电阻。

但是Sn容易形成扩散层，因此长期使用时Sn镀层中的Sn完全形成合金，不残留纯Sn，耐腐蚀性降低。因此为了确保长期耐腐蚀性，必须加厚Sn镀层的厚度，这使得成本提高。

本发明为解决上述课题而成，其目的在于提供耐腐蚀性良好、低成本的电磁波屏蔽用金属箔、电磁波屏蔽材料和屏蔽电缆。

解决课题的方案

本发明人经过各种研究，通过在金属箔的表面形成Sn-Ni合金层，并在Sn-Ni合金层的表面形成含有Sn和Ni的氧化物，成功地获得了低成本、耐腐蚀性良好的电磁波屏蔽用金属箔。

为实现上述目的，本发明的电磁波屏蔽用金属箔中，在由金属箔形成的基材的一个面或两面形成有Sn-Ni合金层，在该Sn-Ni合金层的表面形成有氧化物，所述Sn-Ni合金层含有20-80质量%Sn，厚度为30-500nm，距最表面的深度设为Xnm，通过XPS进行深度方向分析，Sn的原子浓度(%)设为A_Sn(X)、Ni的原子浓度(%)设为A_Ni(X)、氧的原子浓度(%)设为A_o(X)且A_o(X)=0时的X设为X_o时， 30nm≧X_o≧0.5nm，且区间[0, X_o]中满足0.4≧∫A_Ni(X)d_X/∫A_Sn(X)d_X≧0.05。