[发明专利]电磁波屏蔽用金属箔、电磁波屏蔽材料和屏蔽电缆

权利要求书

1.电磁波屏蔽用金属箔，其中，在由金属箔形成的基材的一个面或两面形成有Sn-Ni合金层，在该Sn-Ni合金层的表面形成有含Sn和Ni的氧化物，

所述Sn-Ni合金层含有20-80质量%Sn，厚度为30-500nm，

距最表面的深度设为Xnm，通过XPS进行深度方向分析，

Sn的原子浓度(%)设为A_Sn(X)、Ni的原子浓度(%)设为A_Ni(X)、氧的原子浓度(%)设为A_o(X)且A_o(X)=0时的X设为X₀时，30nm≥X_o≥0.5nm，且区间[0, X_o]中满足0.4≥∫A_Ni(X)d_X/∫A_Sn(X)d_X≥0.05。

2.权利要求1所述的电磁波屏蔽用金属箔，其中，所述Sn-Ni合金层进一步含有选自P、W、Fe和Co的1种以上的元素。

3.权利要求1或2所述的电磁波屏蔽用金属箔，其中，所述Sn-Ni合金层含有10质量%以下的所述基材的构成元素。

4.权利要求1或2所述的电磁波屏蔽用金属箔，其中，在所述Sn-Ni合金层和所述基材之间形成基底层，所述基底层由下列层构成：由Ni形成的金属层，或由Ni与P、W、Fe或Co形成的合金层。

5.权利要求1或2所述的电磁波屏蔽用金属箔，其中，所述基材由金、银、铂、不锈钢、铁、镍、锌、铜、铜合金、铝或铝合金形成。

6.权利要求4所述的电磁波屏蔽用金属箔，其中，所述基材为铝或铝合金，在所述基材和所述基底层之间形成Zn层。

7.电磁波屏蔽材料，其中，在权利要求1-6中任一项所述的电磁波屏蔽用金属箔的一个面上层合有树脂层。

8.权利要求7所述的电磁波屏蔽材料，其特征在于：所述树脂层为树脂膜。

9.屏蔽电缆，其由权利要求7或8所述的电磁波屏蔽材料屏蔽。