[发明专利]用于制备含氧化铟的层的制剂、其制备方法及其用途有效
申请号: | 201480035813.2 | 申请日: | 2014-04-28 |
公开(公告)号: | CN105555790B | 公开(公告)日: | 2018-12-28 |
发明(设计)人: | J.斯特格;A.梅库洛夫;A.霍普佩 | 申请(专利权)人: | 赢创德固赛有限公司 |
主分类号: | C07F5/00 | 分类号: | C07F5/00;C23C18/12;H01L21/285 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 邵长准;石克虎 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制备 氧化 制剂 方法 及其 用途 | ||
1.能够通过将至少一种醇化铟化合物溶解在至少一种溶剂中而制备的液体制剂,其中该醇化铟化合物可以通过使如下物质反应而制备:
- 三氯化铟InCl3,
- 二甲基胺Me2NH,
与所述三氯化铟的摩尔比为8:1至20:1
- 在甲醇MeOH的存在下,
其特征在于,所述化合物具有通式[In6(O)(OMe)12Cl6]2-[NH2Me2]+2 (MeOH)2。
2.权利要求1的制剂,其特征在于,其包含0.1-10重量%的所述醇化铟化合物,基于所述制剂的总质量。
3.权利要求1或2的制剂,其特征在于,所述至少一种溶剂选自伯醇、仲醇、叔醇和芳族醇,醚,酯,芳族烃和腈。
4.权利要求1或2的制剂,其特征在于,所述至少一种溶剂选自甲醇、乙醇、丁醇、四氢糠醇、苯酚、2-甲氧基乙醇、1-甲氧基-2-丙醇、四氢呋喃、苯甲醚、乙酸丁酯、1-甲氧基-2-丙基乙酸酯、苯甲酸乙酯、乙二醇二乙酸酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、甲苯、二甲苯和乙腈。
5.权利要求4的制剂,其特征在于,其包含至少三种溶剂,其中之一选自乳酸乙酯、苯甲醚、四氢糠醇、乙酸丁酯、乙二醇二乙酸酯和苯甲酸乙酯,且另外两种在SATP条件下具有至少30℃的沸点差值。
6.权利要求1或2的制剂,其特征在于,其包含三种溶剂乙醇、1-甲氧基-2-丙醇和四氢糠醇。
7.权利要求1或2的制剂,其特征在于,其具有少于200 ppm的水。
8.制备权利要求1至7任一项的制剂的方法,其中将至少一种醇化铟化合物与至少一种溶剂混合,该醇化铟化合物可以通过使如下物质反应而制备:
- 三氯化铟InCl3,
- 二甲基胺Me2NH,
与所述三氯化铟的摩尔比为8:1至20:1
- 在甲醇MeOH的存在下。
9.权利要求1至7任一项的制剂的用途,用于制备含氧化铟的层。
10.权利要求1至7任一项的制剂的用途,用于制备电子组件用的半导体层或导体层。
11.权利要求10的用途,用于制备晶体管、二极管或太阳能电池。
12.权利要求11的用途,用于制备薄膜晶体管。
13.制备含氧化铟的层的方法,其中将权利要求1至7任一项的制剂施加到基材上且借助热和/或电磁辐射转化。
14.权利要求13的方法,其特征在于,将所施加的制剂借助热和电磁辐射转化。
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