[发明专利]反射电极用或布线电极用Ag合金膜、反射电极或布线电极、和Ag合金溅射靶

说明书

一种显示出低电阻率和高反射率，并且对于UV照射、O₂等离子体处理等的清洗处理的耐氧化性优异的反射电极或布线电极所用的Ag合金膜，其中，含有In高于2.0原子％且2.7原子％以下、Bi 0.01～1.0原子％。

技术领域

本发明涉及反射电极用或布线电极用Ag合金膜、反射电极或布线电极、用于上述反射电极用或布线电极用Ag合金膜的成膜的Ag合金溅射靶，以及具备上述反射电极的显示装置或照明装置、或具备上述布线电极的触控面板。本发明的Ag合金膜显示出低电阻率和高反射率，并且，对于上述显示装置等的制造工序之一，即对于UV照射和O₂等离子体处理等的清洗处理的耐氧化性也优异，因此能够实现展示出良好的显示特性的显示装置等。

背景技术

以Ag为主成分的Ag合金膜，在一定膜厚以上显示出可见光的高反射率，并且能够确保低电阻率，因此可期待面向液晶显示器和有机EL显示器等的反射电极的应用。

但是，因为Ag合金膜不会形成钝态皮膜，所以容易受到来自外部的影响。具体来说，与硫反应而形成硫化银，或与卤素反应而形成卤化银。另外也有容易因加热而凝集等的缺点。

因此，在上述显示器等的制造过程中而受到热历程时，存在高反射率和低电阻这样优异的Ag合金膜本来的特性受损这样的问题。鉴于这样的Ag合金膜的问题，提出了具有与以往不同的合金成分的新的Ag合金膜。

例如，在专利文献1中，公开有一种Ag合金膜，通过使之含有从Bi和Sb所构成的群中选择的一种或两种元素，合计量0.01～4原子％，从而一边维持Ag本来的高反射率，一边抑制Ag的凝集和晶粒生长，抑制反射率的随时间降低。

另外，在专利文献2中公开的要旨是，构成有机EL显示器用的反射阳极电极的Ag基合金膜，如果使之含有Nd为0.01～1.5原子％，或含有Bi为0.01～4原子％，则Nd和Bi可发挥防止Ag凝集的作用，能够充分地避免有机EL器件的暗点现象。

此外，在专利文献3中公开的要旨是，通过使Ag中首先含有Bi，从而抑制容易在Ag合金膜中发生的晶粒生长和凝集，并且以满足规定式的方式添加该Bi、V、Ge和Zn，由此能够得到高反射率。

另外，在专利文献4中公开的要旨是，通过添加特定少量的Cu和Te/Se，此外根据需要再In、Sn、Zn、Pd、Au、Pt、Ru、Ir、Fe、Ni、Bi、P，能够得到确保了耐热性和耐腐蚀性的Ag基合金。此外在专利文献5中公开，如果是在Ag中添加特定少量的Bi，并且再使之含有In、Sn、Zn和Au、Pd、Pt的靶，则使用该靶得到的Ag合金膜，耐热性得到改善。

可是，在上述显示器等的制造工艺中，在形成Ag合金膜后，一般会进行对于该Ag合金膜进行UV照射和O₂等离子体处理等的清洗处理。但是，存在由于这些清洗处理导致Ag氧化而变黑这样的问题。此变黑的发生是由于UV照射时和O₂等离子体照射时，反应性高的氧基发生，该氧基与Ag反应而造成的。

从与基板相反的方向引出光的顶发射型OLED显示器的情况下，在由单层Ag合金膜构成的反射电极或含有Ag合金膜的反射电极之上层叠有有机材料，但为了确保该反射电极与有机材料的电接合，在上述显示器的制造过程中，必须在有机材料的层叠前，对于上述反射电极的表面实施上述的UV照射和O₂等离子体处理等的清洗处理。

但是，若如上述这样进行UV照射或O₂等离子体处理，则有Ag合金膜变黑(氧化银形成)这样的问题。所形成的氧化银成为元件短路的原因，耐氧化性低时，元件制造的成品率降低。

作为该氧化银形成的理由，如上述，可列举是因为Ag不会形成钝态皮膜，所以容易被上述UV照射和O₂等离子体而产生的活性氧氧化。