[发明专利]流体控制装置

权利要求书

1.一种流体控制装置，其具备：长方体状主体；主气体出入口及排放气体出入口，它们均在主体的长度方向的两端中的各端，在宽度方向上隔开间隔地设置；主气体通路，其将主气体出入口彼此连通；排放气体通路，其将排放气体出入口彼此连通；副气体入口，其设置于主体的一侧；开关阀，其在与副气体入口对应的位置配置有多个、且整体在宽度方向上排列；以及多个副气体流入通路，它们从副气体入口通向各开关阀的入口，该流体控制装置适当地对从副气体入口导入的材料气体进行切换并从主气体通路出口向下游侧处理室供给材料气体，并且经由排放气体通路而将主体内气体排出，

所述流体控制装置的特征在于，

主体通过在长度方向上配置通路块而形成，该通路块形成有对开关阀进行收纳的凹部，

通路块具有第1倒V字状通路和第1出口通路来作为形成主气体通路的通路，其中，该第1倒V字状通路在长度方向两端开口，该第1出口通路将第1倒V字状通路的顶部与开关阀的出口连通，通路块具有第2倒V字状通路和第2出口通路来作为形成排放气体通路的通路，其中，该第2倒V字状通路在长度方向两端开口，该第2出口通路将第2倒V字状通路的顶部与开关阀的出口连通，通路块具有入口通路、公共入口通路以及连通路来作为副气体流入通路，其中，该入口通路通向各开关阀的入口，该公共入口通路与入口通路连结、且通向副气体入口，连通路与入口通路连结、且与公共入口通路连结。

2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，

各开关阀具备：阀座，其以能够拆装的方式配置于在通路块形成的出口通路的周缘；阀座保持件，其以能够拆装的方式配置于通路块的凹部、且对阀座进行保持；以及隔膜，其通过被按压于阀座、或者从阀座分离而进行流体通路的开闭，各开关阀使得流入到入口通路的流体经由在阀座保持件设置的贯通孔而与出口通路连通。