[发明专利]固态图像拾取元件、其制造方法和电子设备

说明书

本发明公开了一种固态图像拾取元件(10)及其制造方法，所述固态图像拾取元件包括：设置在基板(11)中的至少一个第一光电转换部(11B，11R)；设置在所述基板上并包括有机光电转换层(16)的第二光电转换部(11G)；和覆盖所述有机光电转换层的光入射面的紫外线防护膜(18)。

相关申请的交叉参考

本申请要求于2013年7月4日提交的日本在先专利申请JP2013-140398的权益，其全部内容以引用的方式并入本文。

技术领域

本技术涉及一种包括吸收不同波长的光的多个光电转换部的固态图像拾取元件、其制造方法和包括该固态图像拾取元件的电子设备。

背景技术

在诸如CCD(电荷耦合元件)图像传感器和CMOS(互补金属氧化物半导体)图像传感器等固态图像拾取单元中，随着像素大小的减小而减少了入射在单位像素(固态图像拾取元件)上的光子的数量，从而引起S/N比的减小。例如，如由拜尔模式(Bayer pattern)所表示的，像素被滤光片分成红色、绿色和蓝色像素，并且配置在同一平面上。在该方法中，例如，绿色和蓝色波长的光不透过红色像素(滤光片)；因此，导致光损失，并因此降低感度。另外，由于在红色、绿色和蓝色像素之间进行插值处理而产生色信号，所以可能生成伪色。

因此，提出了一种通过使三个光电转换部层叠使用一个像素获得三色光电转换信号的方法。例如，三个光电转换部中的一个(例如，对应于绿色光的光电转换部)设置在硅基板上，即，设置在硅基板外侧，而另两个光电转换部(例如，对应于红色光和蓝色光的光电转换部)设置在硅基板的内部(例如，参照PTL 1)。设置在硅基板外侧的光电转换部包括包含有机材料的光电转换层，并且光电转换层设置在一对电极之间。另一方面，硅基板内部的光电转换部中的每个都由光电二极管构成。

另外，提出了一种在基板上配置所有三个光电转换部的方法，每个光电转换部都包括包含有机材料的光电转换层(例如，参照PTL 2)。在这种图像拾取元件中，针对各个光电转换部设置用于读出信号的TFT(薄膜晶体管)。

[引用文献列表]

[专利文献]

[PTL 1]日本未审查专利申请公开No.2011-29337

[PTL 2]日本未审查专利申请公开No.2012-160619

发明内容

[技术问题]

近年来，希望精确控制上述包含有机材料的光电转换部的大小以使像素小型化。

希望提供一种能够使像素小型化的固态图像拾取元件、其制造方法和包括该固态图像拾取元件的电子设备。

[解决问题的方案]

根据本技术的说明性实施方案，提供了一种固态图像拾取元件，包括：设置在基板中的至少一个第一光电转换部；设置在所述基板上并包括有机光电转换层的第二光电转换部；和覆盖所述有机光电转换层的光入射面的紫外线防护膜。

在根据本技术实施方案的固态图像拾取元件中，有机层的光入射面有利地覆盖有紫外线防护膜。因此，例如，即使进行等离子体照射以形成所述有机层，由所述等离子体照射所产生的紫外射线也在到达所述有机层之前被阻挡。因此，即使通过干法刻蚀使所述有机层图案化，也可以减少由紫外射线所引起的有机层的劣化。

根据本技术的说明性实施方案，提供了一种电子设备，所述电子设备设置有一种固态图像拾取元件，所述固态图像拾取元件包括：设置在基板中的至少一个第一光电转换部；设置在所述基板上并包括有机光电转换层的第二光电转换部；和覆盖所述有机光电转换层的光入射面的紫外线防护膜，使得光在射入所述有机光电转换层中之前射入所述紫外线防护膜中。