[发明专利]用于平面衬底的极性结构的加工设备

权利要求书

1.一种用于平面衬底的极性结构的加工设备，

○具有中央基础模块(8)，具有与该中央基础模块(8)同心的、旋转支承(14)的旋转轴(10)，

○具有相对于旋转支承(14)的同心的旋转轴(10)极性间隔的、围绕基础模块(8)成组布置的工艺站(6)，

○具有通过旋转支承(14)支承的真空转移室(4)，它相对于工艺站(6)圆周侧密封地定位，

○具有被真空转移室(4)容纳的用于衬底的搬运装置(2)，和

○具有为真空转移室(4)设置的用于搬运装置的通过孔(12)，它可以通过耦联阀(7)截止，其特征在于，

○所述旋转支承(14)是可以调整高度的，

○所述真空转移室(4)径向相对于基础模块的中心的旋转轴(10)错开，并且

○通过所述旋转支承(14)在该中央基础模块(8)的基面上在空间自由摆动地支承。

2.如权利要求1所述的加工设备，其特征在于，径向相对于旋转支承(14)错开的真空转移室(4)相对于承载臂(20)可以围绕平行于旋转支承(14)的旋转轴线(24)旋转。

3.如权利要求2所述的加工设备，其特征在于，所述承载臂(20)其相对于旋转轴线的伸出长度可以调整。

4.如权利要求1或2所述的加工设备，其特征在于，所述真空转移室(4)相对于承载臂(20)悬挂地可旋转的连接。

5.如权利要求1或2所述的加工设备，其特征在于，所述真空转移室(4)相对于承载臂(20)可万向摆动地支承。

6.如权利要求5所述的加工设备，其特征在于，所述耦联阀(7)在搬运设备(35)的通过行程中后置于通过孔(12)地具有两个位于前后的、先后要打开的锁闭盖(56,57)，与压力源连接的、压力加载的过渡室(58)位于锁闭盖之间。

7.一种用于平面衬底的搬运装置，

具有用于在空间中可位移的用于衬底(34)的真空转移室(4)的承载装置(3)，

具有容纳在真空转移室(4)里面的用于衬底(34)的搬运设备(35)，

具有为了真空转移室(4)设置的用于搬运设备(35)的转移/通过孔(12)，并且

具有前置于转移/通过孔(12)的、可通断的耦联阀(7)，其特征在于，所述承载装置(3)通过多臂的机械手形成，对于码垛机械手作为末端执行器在空间中可自由摆动地设有真空转移室(4)。

8.如权利要求7所述的搬运装置，其特征在于，所述被相对于机械手的终端臂(17)可旋转的真空转移室(4)容纳的搬运设备(35)相对于真空转移室(4)的外壳(36)中心地且可旋转地支承并且具有径向延伸的用于抓取器溜板(38)的导轨(37)。

9.如权利要求8所述的搬运装置，其特征在于，所述抓取器溜板(38)形成多臂操作机械手(40)的末端执行器，具有相对于真空转移室(4)中心的径向的支承。

10.如权利要求8所述的搬运装置，其特征在于，所述导轨(37)相对于真空转移室(4)的外壳(36)可调整行程地支承。

11.如权利要求7或8所述的搬运装置，其特征在于，所述真空转移室(4)容纳至少一存放位置(33)和附属于通过位置的定位站(51)。