[发明专利]成膜装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于在带状的被成膜材的表面上形成功能性薄膜等薄膜的连续成膜装置。

背景技术

以往，作为用于对由长条的薄膜或薄片构成的薄壁的被成膜材连续地进行成膜的装置，已知有这样的结构:将该被成膜材在真空腔室内连续地输送,并在其表面上通过溅镀或蒸镀形成各种功能性薄膜。

作为这样的成膜装置，例如专利文献1公开了包括上部腔室和下部腔室的结构。上述下部腔室收纳能够卷绕由薄膜等构成的被成膜材的成膜辊、和用于对该被成膜材实施成膜处理的多个溅镀源等。该下部腔室具有左右侧壁，在这些侧壁上形成有开口，并且在该侧壁上装配有用来开闭该开口的门。在将该门打开的状态下，经由上述开口进行各批次处理的靶极的更换、划分成膜区域的掩模的更换及清扫、被成膜材的所谓的通纸及更换等各种维护作业。

上述上部腔室配置在上述下部腔室的上方，并且收纳将上述被成膜材展开的展开单元、将所展开的被成膜材加热并从该被成膜材将气体分离的脱气单元、和将上述被成膜材卷取的卷取单元。在该装置中，从上述上部腔室内的上述展开单元展开的被成膜材在穿过上述脱气单元后暂且被运入到下部腔室内，在这里进行了成膜处理后，向上述上部腔室返回并由上述卷取单元卷取。

这样，通过将除了上述成膜辊及其周边设备以外的加工单元收纳到上述上部腔室中，而在下部腔室的左右两侧确保了用来进行上述维护等作业的空间。

在上述的现有装置中，需要在下部腔室的左右的门外侧分别确保充分的作业空间，不能在该下部腔室的左右相邻的位置配置其他单元，所以必须在上述下部腔室的更上侧设置上部腔室，在该上部腔室内收纳要配置到成膜辊的上游侧的展开单元、脱气单元及要配置到成膜辊的下游侧的卷取单元。这导致装置整体的组装作业的复杂化及维护作业的困难化。具体而言，当组装上述装置时，需要在使用起重机等将重量大的上部腔室吊起的状态下在其下方设置下部腔室并在其上连结上述上部腔室的大规模的作业，该作业并不容易。此外，在上部腔室内的各零件的更换及维护时，作业人员必须从处于较高位置的上部腔室的上侧进入该上部腔室来进行作业，用于该作业的脚手架及用于保证安全性的设备成本也增大。

专利文献1：日本特开2010－053382号公报。

发明内容

本发明的目的是提供一种包括含有成膜单元的多个单元的成膜装置，在将这些单元不上下重叠地配置的同时，能够将用于上述成膜单元中装备的各成膜加工用设备的更换及维护的作业空间确保得大。

本发明所提供的成膜装置一边将沿特定方向延伸的带状的被成膜材沿其纵长方向输送，一边对该被成膜材的表面实施成膜，包括成膜单元、配置在比该成膜单元靠上述被成膜材的输送方向的上游侧的上游侧单元、和配置在比上述成膜单元靠上述被成膜材的输送方向下游侧的下游侧单元。上述成膜单元具有：成膜辊，能够绕水平的旋转中心轴旋转；多个成膜加工用设备，配置在该成膜辊的周围；多个引导辊，配置为在上述上游侧单元及上述下游侧单元与上述成膜辊之间进行上述被成膜材的引导；主腔室，具有收纳上述成膜辊的成膜辊收纳部、以及位于该成膜辊收纳部的上侧并收纳上述引导辊的至少一部分的引导辊收纳部；第1加工腔室和第2加工腔室，关于与上述成膜辊的中心轴的方向正交的左右方向分别配置在上述成膜辊收纳部的两侧，分别收纳上述成膜加工用设备的至少一部分，具有朝向上述成膜辊收纳部侧的开口；加工腔室支承部，支承这些第1加工腔室和第2加工腔室。上述成膜辊收纳部具有左右的第1腔室开口侧面, 该左右的第1腔室开口侧面位于上述成膜辊的左右方向的两侧,与上述第1加工腔室和第2加工腔室的上述成膜辊收纳部侧的开口一致。上述引导辊收纳部具有比上述成膜辊收纳部的左右的第1腔室开口侧面向上述左右方向的两侧延伸的部分，这些部分具有与上述上游侧单元及上述下游侧单元分别连接的左右的第2腔室开口侧面。上述加工腔室支承部将上述第1加工腔室和第2加工腔室支承为,能够在通常位置与退避位置之间移动并且能够在该退避位置与露出位置之间移动，所述通常位置是所述加工腔室将上述成膜辊收纳部的开口覆盖并与上述主腔室一起形成成膜空间的位置，所述退避位置是从该通常位置在比上述上游侧单元及上述下游侧单元靠内侧的范围内向左右方向的外侧退避的位置，所述露出位置是从该退避位置沿与上述成膜辊的旋转中心轴平行的方向即前后方向离开的位置，并且在所述露出位置上述加工腔室的内部露出。

另外，本发明中所说的“水平”并不是严格规定的，是也包含相对于完全的水平面稍稍倾斜的方向的概念。

附图说明