[发明专利]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，一边将带状的被成膜材沿其纵长方向输送，一边对该被成膜材的表面实施成膜，其特征在于，

包括成膜单元、配置在比该成膜单元靠上述被成膜材的输送方向的上游侧的上游侧单元、和配置在比上述成膜单元靠上述被成膜材的输送方向下游侧的下游侧单元,

上述成膜单元具有：成膜辊，能够绕水平的旋转中心轴旋转；多个成膜加工用设备，配置在该成膜辊的周围；多个引导辊，配置为在上述上游侧单元及上述下游侧单元与上述成膜辊之间进行上述被成膜材的引导；主腔室，具有收纳上述成膜辊的成膜辊收纳部、以及位于该成膜辊收纳部的上侧并收纳上述引导辊的至少一部分的引导辊收纳部；第1加工腔室和第2加工腔室，关于与上述成膜辊的中心轴的方向正交的左右方向分别配置在上述成膜辊收纳部的两侧，分别收纳上述成膜加工用设备的至少一部分，具有朝向上述成膜辊收纳部侧的开口；加工腔室支承部，支承这些第1加工腔室和第2加工腔室,

上述成膜辊收纳部具有左右的第1腔室开口侧面, 该左右的第1腔室开口侧面位于上述成膜辊的左右方向的两侧,与上述第1加工腔室和第2加工腔室的上述成膜辊收纳部侧的开口一致,

上述引导辊收纳部具有比上述成膜辊收纳部的左右的第1腔室开口侧面向上述左右方向的两侧延伸的部分，这些部分具有与上述上游侧单元及上述下游侧单元分别连接的左右的第2腔室开口侧面,

上述加工腔室支承部将上述第1加工腔室和第2加工腔室支承为,能够在通常位置与退避位置之间移动并且能够在该退避位置与露出位置之间移动，所述通常位置是所述加工腔室将上述成膜辊收纳部的开口覆盖并与上述主腔室一起形成成膜空间的位置，所述退避位置是从该通常位置在比上述上游侧单元及上述下游侧单元靠内侧的范围内向左右方向的外侧退避的位置，所述露出位置是从该退避位置沿与上述成膜辊的旋转中心轴平行的方向即前后方向离开的位置，并且在所述露出位置上述加工腔室的内部露出，

上述加工腔室支承部包括：第1支承部，将上述第1加工腔室和第2加工腔室支承为，该加工腔室能够在上述通常位置与上述退避位置之间沿左右方向移动；和第2支承部，将该第1支承部支承为，上述加工腔室能够在上述退避位置与上述露出位置之间沿前后方向移动。

2.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

上述加工腔室支承部以允许上述第1加工腔室和第2加工腔室分别从退避位置关于前后方向向同一侧移动的方式支承。

3.如权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，

上述加工腔室支承部支承所述第1加工腔室和第2加工腔室，以允许该第1加工腔室和第2加工腔室中的至少一个加工腔室以比另一个加工腔室的前后方向的尺寸大的距离从上述主腔室以沿前后方向离开的方式移动。

4.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

上述引导辊收纳部具有将上述引导辊向上方开放的上侧开口,上述成膜装置还包括形成脚手架的脚手架单元,该脚手架配置在上述主腔室的前后方向的至少一侧,用于作业人员经由上述上侧开口进行作业。