[发明专利]校准装置

说明书

本发明公开了一种示例性设备，所述示例性设备供在测试系统的校准中使用，所述测试系统具有多个通道和用于接纳受测装置的插槽。所述示例性设备包括：装置接口，所述装置接口可连接到所述插槽；以及多个电路通道，其中每个电路通道可通过所述装置接口连接到所述测试系统的对应通道并且连接到共用节点。所述示例性设备被配置为使得在校准期间，信号要么(i)各自从所述测试系统通过所述多个电路通道中的一个电路通道传递，并且通过所述多个电路通道中的其他电路通道回到所述测试系统，要么(ii)各自从所述测试系统通过所述多个电路通道中的所述其他电路通道传递，并且通过所述多个电路通道中的所述一个电路通道回到所述测试系统。

技术领域

本说明书整体涉及一种用于测试系统的校准装置。

背景技术

ATE是指用于测试装置(诸如半导体、电子电路和印刷电路板组件)的自动化(通常计算机驱动的)系统。由ATE测试的装置被称为受测装置(DUT)。

ATE通常包括计算机系统和测试装置或具有对应功能性的单个装置。ATE能够向DUT提供测试信号，从DUT接收响应信号，并且转发那些响应信号以供处理来确定DUT是否满足测试合格性。

校准可影响ATE的性能。例如，可校准ATE以实现时序精度。在ATE中，除了别的以外，时序精度包括向DUT施加满足预定义时序约束的信号。例如，信号的上升沿可能需要在指定时间范围内到达DUT以便精确地测试DUT。随着DUT的操作速度增大，时序精度变得更为关键，因为在测试期间对信号时间变化的容忍度通常更小。

通常，时序去歪斜校准(例如，测试器通道之间的信号时序的对准)使用时域反射法(TDR)，其可包括向通道中发送脉冲并且寻找反射，或者结合通过装载板的延迟的离线测量，使用在测试器接口处的机器人校准。两种方法都受到使得难以在皮秒范围内实现歪斜的测量误差。这是因为在两种方法中不在DUT在测试时间期间所处位置处(例如，在DUT插槽中)进行时序测量。一些类型的校准使用在插槽着陆图案处的探测，但这通常需要在每次校准之前移除插槽，这是耗时的并且可磨损装载板，并且仍然不一定在DUT所驻留之处实现时序。这还需要外部设备，诸如探针、电缆、测试仪器等。

发明内容

一种示例性设备供在测试系统的校准中使用，所述测试系统包括多个通道和用于接纳受测装置的插槽。示例性设备包括：装置接口，其可连接到插槽；以及多个电路通道，电路通道中的每一个可通过装置接口连接到测试系统的对应通道并且连接到共用节点。所述设备被配置为使得在校准期间，信号(i)各自从测试系统通过多个电路通道中的一个电路通道传递，并且通过多个电路通道中的其他电路通道回到测试系统，或(ii)各自从测试系统通过多个电路通道中的其他电路通道传递，并且通过多个电路通道中的一个电路通道回到测试系统。示例性设备可包括下列特征中的一个或多个(单独地或组合地)。

多个电路通道中的其他电路通道可包括除了多个电路通道中的一个电路通道之外的所有多个电路通道。在信号各自从测试系统通过多个电路通道中的一个电路通道传递的情况下：后续信号通过多个电路通道中的不同电路通道传递回到测试系统。在信号各自从测试系统通过多个电路通道中的其他电路通道传递的情况下：后续信号穿过多个电路通道中的其他电路通道中的不同电路通道。多个电路通道中的每一个可包括电路迹线和/或阻抗元件。阻抗元件可包括电阻器，该电阻器是包括共用节点的电阻分压器网络的一部分。电阻器可选自嵌入式电阻器、表面安装式电阻器和薄膜电阻器。阻抗元件连同接收通道的驱动器阻抗和负载阻抗的组合可构成匹配阻抗网络。

所述设备可具有与受测装置的封装尺寸相同的封装尺寸。校准可包括通过使用测试系统中的引脚电子器件改变时序来对准通道的时序。所述设备可校准测试系统中的通道，使得测试系统的通道具有至多5皮秒的时序错位。