[发明专利]具有密封的内部容积的波长可调的光子源

说明书

本发明给出了一种提供波长可调的光子源(200)的方法，包括在包围内部容积(214)的结构中将具有第一镜子(106)的第一元件(101)、具有第二镜子(108)的第二元件(102)以及具有光子发射器的第三元件(103)连接在一起，内部容积是密封容积，以及形成粘接界面(212)，其是气密的，使得第一镜子(106)被放置在内部容积(214)中，以便第一镜子(106)可以在内部容积(214)中移动。该方法提供了一种获得可调节的光子源的相对简单的方法，其中内部容积是密封的。本发明还涉及相应的光子源以及这样的光子源的用途。

技术领域

本发明涉及一种光子源，更具体地，本发明涉及一种波长可调的光子源。

背景技术

波长可调的光子源可以用于多个用途，能够调节所发射的波长对这些用途是有利的。

参考文献“利用Si-MEMS技术的高速微机械可调的表面发射激光器”，KANBARANobuhiko等，Yokogawa技术报告英语版本No.47(2009)，描述了可调表面发射激光器。该激光器由半VCSEL(垂直腔表面发射激光器)晶片组成，而不具有一侧介电镜和微型机加工的以凹透镜为基底的SOI(绝缘体上硅结构)。这两个晶片使用高准确度金属热压缩粘接方法粘接在一起。通过在具有镜子的硅膜和硅基底之间应用可变电压来实现高速、宽波长调节。在原型中，我们已经实现了超过500kHz的高性能波长调制、没有任何模式跳变的55nm的宽调范围以及超过60dB的边模抑制比。

改进的可调光子源将是有利的。

发明内容

提供一种提供改进的波长可调的光子源的方法可以被看作本发明的一个目标。提供对现有技术的替代方案是本发明的进一步目标。

从而，通过提供一种提供波长可调的光子源的方法可以在本发明的第一方面中获得上文描述的目标和若干其它目标，该方法包括：

-提供第一元件，例如为固体元件的第一元件，包括第一镜子，

-提供第二元件，例如为固体元件的第二元件，包括第二镜子，

-提供第三元件，例如为固体元件的第三元件，包括光子发射器，

-将第一元件和第二元件以及第三元件彼此相关地设置，使得

i.第一镜子和第二镜子定义了光腔的至少一部分，且使得

ii.光子发射器被放置在光腔内部，

-在包围内部容积的相干结构中，例如通过物理和/或化学力保持在一起的相干结构，再例如刚性相干结构，通过粘接和/或沉积，例如通过物理和/或化学粘接，将至少第一元件和第二元件以及第三元件连接在一起，其中内部容积是密封容积，上述密封容积例如被密封使得气体和/或液体无法进入内部容积或从内部容积中出来，例如密封的内部容积被气封，例如非固体的内部容积，以及

-邻接内部容积形成粘接界面，其中粘接界面是气密的，其抵接在第一元件的第一侧以及第三元件的第二侧上，

其中

第一镜子被放置在内部容积中，使得第一镜子可以在内部容积中移动，例如相对于第二镜子移动，且其中该方法还包括：

-提供能够在内部容积中移动第一镜子的装置，例如用于电接入第一镜子的装置，例如用于静电移动第一镜子的装置，例如移动第一镜子，以便能够改变光腔的腔长。