[发明专利]具有密封的内部容积的波长可调的光子源

权利要求书

1.一种提供波长可调的光子源(200)的方法，该方法包括

提供第一元件(101)，其包括第一镜子(106)，

提供第二元件(102)，其包括第二镜子(108)，

提供第三元件(103)，其包括光子发射器(110)，

将第一元件(101)和第二元件(102)以及第三元件(103)彼此相关地设置，使得

i.第一镜子(106)和第二镜子(108)限定了光腔的至少一部分，且使得

ii.光子发射器(110)被放置在光腔内部，

在包围内部容积(214)的相干结构中将至少第一元件(101)和第二元件(102)以及第三元件(103)连接在一起，所述内部容积为密封容积，以及

邻接内部容积(214)形成粘接界面(212)，其中所述粘接界面是气密的，且抵接第一元件(101)的第一侧以及第三元件(103)的第二侧，

其中

第一镜子(106)被放置在内部容积(214)中，使得第一镜子(106)能够在内部容积(214)中移动，且其中，内部容积的至少一部分被设置在第一镜子的面对光腔的一侧，且其中内部容积的至少一部分被设置在第一镜子的相对侧，

且其中，所述方法还包括

提供能够在内部容积(214)中移动第一镜子(106)的装置。

2.根据权利要求1所述的方法，其中形成粘接界面(212)包括通过直接粘接的方式形成粘接界面。

3.根据权利要求1所述的方法，其中形成粘接界面(212)的步骤之前是提供高于或低于大气压的压力的步骤，以便在形成粘接界面的步骤之后在内部容积(214)中提供相应的高于或低于大气压的压力。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述方法包括将抗反射涂层(426)设置在第三元件(103)的表面的至少一部分上，所述第三元件划定了内部容积的界限。

5.一种波长可调的光子源(200)，包括

第一元件(101)，其包括第一镜子(106)，

第二元件(102)，其包括第二镜子(108)，

第三元件(103)，其包括光子发射器(110)，

其中第一元件(101)和第二元件(102)以及第三元件(103)被彼此相关地设置，使得

i.第一镜子(106)和第二镜子(108)限定了光腔的至少一部分，且使得

ii.光子发射器(110)被放置在光腔内部，

其中在包围内部容积(214)的相干结构中，至少第一元件(101)和第二元件(102)以及第三元件(103)被连接在一起，所述内部容积为密封容积，以及

其中所述相干结构包括邻接内部容积(214)的粘接界面(212)，所述粘接界面是气密的，且抵接第一元件(101)的第一侧以及第三元件(103)的第二侧，

其中

第一镜子(106)被放置在内部容积(214)中，使得第一镜子(106)能够在内部容积(214)中移动，且其中，内部容积的至少一部分被设置在第一镜子的面对光腔的一侧，且其中内部容积的至少一部分被设置在第一镜子的相对侧，

且其中，所述波长可调的光子源(200)还包括能够在内部容积中移动第一镜子的装置。

6.根据权利要求5所述的波长可调的光子源(200)，其中能够在内部容积(214)中移动第一镜子(106)的装置包括第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极用于维持在第一镜子(106)与所述第一电极和第二电极之间的电场，以便移动第一镜子。

7.根据权利要求6所述的波长可调的光子源(200)，其中所述电场被布置为用于在远离第二镜子的方向上移动第一镜子(106)。

8.根据权利要求5所述的波长可调的光子源(200)，其中所述光子发射器是激光增益介质，且其中所述波长可调的光子源被布置为能够发射激光。