[发明专利]真空泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空泵，该真空泵具有控制单元，前述控制单元为用冷却管冷却电子设备的类型，特别地，该真空泵能够在冷却管的表面或其周边防止结露，能够有效地减少电子设备因为由结露产生的水滴而发生故障等问题。

背景技术

以往，向真空泵的电力供给或泵转子的转速控制等，是通过附属于真空泵的真空泵控制单元进行的。作为这种真空泵控制单元，例如已知有专利文献1中公开的真空泵用电源装置。

专利文献1中公开的真空泵用电源装置（3）构成为，如该文献1的图1所示，该装置内部收纳有CPU（8）等电子设备和冷却管（5），通过冷却管（5）冷却电子设备。

另外，在该专利文献1中公开的真空泵用电源装置（3）中，通过该文献1的图1中所示的温度传感器（12）测量冷却管（5）的温度，基于测量的冷却管（5）的温度，CPU（8）开闭冷却管（5）的阀（6），由此进行控制，使得冷却管（5）保持不结露的温度。

但是，根据专利文献1中公开的真空泵用电源装置（3），如前所述仅测量冷却管（5）的温度，而不测量该装置内部的湿度，因此不能防止在该装置内部结露，有在冷却管（5）的表面或其周边发生结露的可能，不能够有效地减少电子设备因为由结露产生的水滴而发生故障等问题。

另外，在专利文献1中公开的真空泵用电源装置（3）中，虽然利用该文献1的图4中所示的结露传感器（7）检测该装置内部的结露，但是该结露的检测是根据预先通过实验求出的露点表格进行的，而在制作露点表格时，还必须考虑根据真空泵用电源装置（3）的装配环境不同该装置内部初始的水蒸气量也不同等该装置的装配条件，难以制作能够准确地检测结露的露点表格，由此有在冷却管（5）的表面或其周边发生结露的可能，不能够有效地减少电子设备因为由结露产生的水滴而发生故障等问题。

此外，前述括号内的附图标记为专利文献1中使用的附图标记。

专利文献１：国际公开第2012／121383号。

发明内容

本发明是为了解决前述问题而做出的发明，本发明的目的是提供一种真空泵，该真空泵具有控制单元，在该真空泵中，能够防止在冷却管的表面或其周边结露，能够有效地减少电子设备因为由结露产生的水滴而发生故障等问题。

为了实现前述目的，本发明的特征在于，在真空泵中，具有控制单元、冷却机构、第1获取机构、第2获取机构和控制机构，前述控制单元将安装有电子元件的电子电路配置于箱体内部，驱动控制前述真空泵，前述冷却机构冷却前述控制单元，前述第1获取机构获取前述箱体内部的含有水蒸气量，前述第2获取机构获取前述箱体内部的饱和水蒸气量，前述控制机构基于前述含有水蒸气量和前述饱和水蒸气量的比较结果，操作前述冷却机构，调整前述箱体内部的温度，由此进行控制，使得以下条件式得到满足，条件式：含有水蒸气量<饱和水蒸气量。

在前述本发明中，也可以是其特征在于，前述控制机构根据前述饱和水蒸气量设定容许水蒸气量，基于前述含有水蒸气量和该容许水蒸气量的比较结果，操作前述冷却机构，调整前述箱体内部的温度，由此进行控制，使得前述条件式得到满足。

在前述本发明中，也可以是其特征在于，前述饱和水蒸气量为前述箱体内部的既定部位的表面温度下的饱和水蒸气量。

在前述本发明中，也可以是其特征在于，前述冷却机构为冷却管，水或者其他制冷流体在前述冷却管的内部流动。

另外，在前述本发明中，也可以是其特征在于，前述第2获取机构具有测量前述既定部位的前述表面温度的第1温度传感器，利用前述第1温度传感器测量得到的前述表面温度进行获取前述饱和水蒸气量的处理。

在前述本发明中，也可以是其特征在于，前述第1获取机构具有湿度传感器和第2温度传感器，前述湿度传感器测量前述箱体内部的湿度，前述第2温度传感器测量前述箱体内部的温度，前述第1获取机构进行下述处理：利用前述第2温度传感器和前述湿度传感器测量前述箱体内部的前述温度和前述湿度；根据该温度及湿度获取前述箱体内部的前述含有水蒸气量。