[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，其特征在于，该真空泵具有控制单元、冷却机构、第1获取机构、第2获取机构和控制机构，

前述控制单元将安装有电子元件的电子电路配置于箱体内部，驱动控制前述真空泵，

前述冷却机构冷却前述控制单元，

前述第1获取机构获取前述箱体内部的含有水蒸气量，

前述第2获取机构获取前述箱体内部的饱和水蒸气量，

前述控制机构基于前述含有水蒸气量和前述饱和水蒸气量的比较结果，操作前述冷却机构，调整前述箱体内部的温度，由此进行控制，使得以下条件式得到满足，

条件式：含有水蒸气量<饱和水蒸气量。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，前述控制机构根据前述饱和水蒸气量设定容许水蒸气量，基于前述含有水蒸气量和该容许水蒸气量的比较结果，操作前述冷却机构，调整前述箱体内部的温度，由此进行控制，使得前述条件式得到满足。

3.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，前述饱和水蒸气量为前述箱体内部的既定部位的表面温度下的饱和水蒸气量。

4.如权利要求3所述的真空泵，其特征在于，前述冷却机构的至少一部分配置于前述箱体内部，前述既定部位为前述冷却机构。

5.如权利要求4所述的真空泵，其特征在于，前述冷却机构为冷却管，水或者其他制冷流体在前述冷却管的内部流动。

6.如权利要求1至5中任一项所述的真空泵，其特征在于，前述第2获取机构具有测量前述既定部位的前述表面温度的第1温度传感器，利用前述第1温度传感器测量得到的前述表面温度进行获取前述饱和水蒸气量的处理。

7.如权利要求1至6中任一项所述的真空泵，其特征在于，前述第1获取机构具有湿度传感器和第2温度传感器，前述湿度传感器测量前述箱体内部的湿度，前述第2温度传感器测量前述箱体内部的温度，

前述第1获取机构进行下述处理：利用前述第2温度传感器和前述湿度传感器测量前述箱体内部的前述温度和前述湿度；根据该温度及湿度获取前述箱体内部的前述含有水蒸气量。

8.如权利要求1至6中任一项所述的真空泵，其特征在于，前述第1获取机构具有湿度传感器和存储机构，前述湿度传感器测量前述箱体内部的湿度，前述存储机构将前述真空泵出厂前的前述箱体内部的水蒸气量作为初始水蒸气量来储存，并且存储对应于前述箱体内部的温度或前述湿度的水蒸气量的修正值，

前述第1获取机构包括下述处理：利用前述湿度传感器测量前述箱体内部的前述湿度；参考该湿度及前述初始水蒸气量获取前述箱体内部的前述温度；将前述修正值加到根据前述湿度和前述温度求出的水蒸气量上，将其加法运算值作为前述箱体内部的前述含有水蒸气量而获取。

9.如权利要求1至8中任一项所述的真空泵，其特征在于，前述第1获取机构具有测量前述既定部位附近的湿度的湿度传感器，进行下述处理：根据利用前述第1温度传感器和前述湿度传感器测量得到的前述表面温度及前述湿度，获取前述含有水蒸气量。

10.如权利要求1至9中任一项所述的真空泵，其特征在于，具有调整在前述冷却管的内部流动的水或者其他制冷流体的流量的阀，前述控制机构操作前述阀的开闭，由此调节前述箱体内部的温度。

11.如权利要求1至10中任一项所述的真空泵，其特征在于，前述阀为能够任意地改变开口面积的流量可变阀。