[发明专利]弹性表面波装置

权利要求书

1.一种弹性表面波装置，具备：

基板；

形成于所述基板上且具有至少1个IDT电极的功能电极部；

与所述功能电极部连接且形成于所述基板上的布线电极；

设于所述布线电极的一部分与所述基板间的绝缘膜；

设于所述基板上且包围所述功能电极部、和所述布线电极的至少一部分而设的支承构件；和

与所述支承构件一起形成让所述功能电极部位于内部的中空部的外罩构件，

所述支承构件的厚度厚于所述绝缘膜的厚度，且所述绝缘膜和所述支承构件由同一材料构成。

2.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其中，

所述布线电极包含第1布线电极和第2布线电极，

存在所述第1布线电极与所述第2布线电极立体交叉的立体交叉部，

在该立体交叉部，在所述第2布线电极的上方的至少一部分存在所述支承构件，

在所述立体交叉部，所述绝缘膜位于所述第2布线电极的下方，所述第1布线电极位于所述绝缘膜的下方。

3.根据权利要求2所述的弹性表面波装置，其中，

所述立体交叉部设置在所述支承构件的内部。

4.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其中，

俯视观察所述基板，所述布线电极与所述绝缘膜重合的层叠部设置在所述支承构件的内部。

5.根据权利要求2或3所述的弹性表面波装置，其中，

在设于所述支承构件的内部的所述立体交叉部，所述布线电极包含宽度细于该立体交叉部内部的剩下的布线电极部分的宽度的部分。

6.根据权利要求4所述的弹性表面波装置，其中，

在设于所述支承构件的内部的所述层叠部，所述布线电极包含宽度细于该层叠部内部的剩下的布线电极部分的宽度的部分。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的弹性表面波装置，其中，

所述绝缘膜以及所述支承构件由合成树脂构成。

8.根据权利要求7所述的弹性表面波装置，其中，

所述合成树脂是光固化性聚酰亚胺的固化物。

9.根据权利要求7所述的弹性表面波装置，其中，

所述合成树脂是热固化性聚酰亚胺的固化物。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的弹性表面波装置，其中，

所述IDT电极包含AlCu的外延膜。