[发明专利]固化性树脂组合物及使用其的半导体装置有效
| 申请号: | 201480021387.7 | 申请日: | 2014-07-04 |
| 公开(公告)号: | CN105209549B | 公开(公告)日: | 2016-10-26 |
| 发明(设计)人: | 籔野真也;板谷亮 | 申请(专利权)人: | 株式会社大赛璐 |
| 主分类号: | C08L83/04 | 分类号: | C08L83/04;C08K5/098;C08K5/3477;C08L83/05;C08L83/07;C08L83/14;H01L23/29;H01L23/31 |
| 代理公司: | 北京坤瑞律师事务所 11494 | 代理人: | 张平元 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 固化 树脂 组合 使用 半导体 装置 | ||
1.一种固化性树脂组合物,其包含:聚有机硅氧烷(A)、倍半硅氧烷(B)及异氰脲酸酯化合物(C),其中,
聚有机硅氧烷(A)是具有芳基的聚有机硅氧烷,
该固化性树脂组合物的粘度为4000~8000mPa·s。
2.根据权利要求1所述的固化性树脂组合物,其中,聚有机硅氧烷(A)的基于凝胶渗透色谱法的标准聚苯乙烯换算的数均分子量(Mn)为500~4000。
3.根据权利要求1或2所述的固化性树脂组合物,其中,将聚有机硅氧烷(A)的基于凝胶渗透色谱法的标准聚苯乙烯换算的重均分子量设为Mw、数均分子量设为Mn时,其分子量分散度(Mw/Mn)为0.95~4.00。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的固化性树脂组合物,其中,作为聚有机硅氧烷(A),包含具有脂肪族碳-碳双键的聚有机硅氧烷(A1)。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的固化性树脂组合物,其中,作为聚有机硅氧烷(A),包含具有Si-H键的聚有机硅氧烷(A2)。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的固化性树脂组合物,其中,作为聚有机硅氧烷(A),包含含有式(6)所示结构的聚有机硅氧烷,
式(6)中,R21~R26相同或不同,表示氢原子、芳基、一价烃基、一价杂环式基团、或包含脂肪族碳-碳不饱和键的一价基团,并且,R21~R26中的1个以上为包含脂肪族碳-碳不饱和键的一价基团,另外,R21~R26中的1个以上为芳基,R27表示二价烃基,r、s分别表示1以上的整数。
7.根据权利要求1~6中任一项所述的固化性树脂组合物,其中,倍半硅氧烷(B)为梯型倍半硅氧烷。
8.根据权利要求1~7中任一项所述的固化性树脂组合物,其中,异氰脲酸酯化合物(C)为式(1)所示的异氰脲酸酯化合物,
式(1)中,Rx、Ry、Rz相同或不同,表示式(2)所示的基团或式(3)所示的基团,
式(2)及式(3)中,R1及R2相同或不同,表示氢原子或碳原子数1~8的直链状或支链状的烷基。
9.根据权利要求8所述的固化性树脂组合物,其中,式(1)中的Rx、Ry、Rz中的任意一个以上为式(3)所示的基团。
10.根据权利要求1~9中任一项所述的固化性树脂组合物,其还包含硅烷偶联剂(D),
相对于聚有机硅氧烷(A)及倍半硅氧烷(B)的总量(100重量份),硅烷偶联剂(D)的含量为0.01重量份以上且低于1.0重量份。
11.根据权利要求10所述的固化性树脂组合物,其中,硅烷偶联剂(D)包含通过使1种或2种以上的硅烷偶联剂进行水解及部分缩合而得到的部分缩合物。
12.根据权利要求1~11中任一项所述的固化性树脂组合物,其还包含锌化合物(E),
相对于聚有机硅氧烷(A)及倍半硅氧烷(B)的总量(100重量份),锌化合物(E)的含量为0.01重量份以上且低于1.0重量份。
13.根据权利要求12所述的固化性树脂组合物,其中,相对于聚有机硅氧烷(A)及倍半硅氧烷(B)的总量(100重量份),锌化合物(E)的含量为0.3重量份以上且低于0.6重量份。
14.根据权利要求12或13所述的固化性树脂组合物,其中,锌化合物(E)为羧酸锌。
15.一种固化物,其是将权利要求1~14中任一项所述的固化性树脂组合物固化而得到的。
16.一种密封材料,其是使用权利要求1~14中任一项所述的固化性树脂组合物而得到的。
17.一种半导体装置,其是使用权利要求16所述的密封材料而得到的。
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