[发明专利]具有图案的基板的制造方法以及氢氟酸蚀刻用树脂组合物

权利要求书

1.一种具有利用蚀刻形成的图案的基板的制造方法，其特征在于，其包括：将包含作为(A)成分的树脂的组合物涂布到基板上形成抗蚀膜的工序；和、对形成有该抗蚀膜的基板使用氢氟酸进行蚀刻加工而图案化的工序，

所述树脂是由选自聚丁二烯多元醇、氢化聚丁二烯多元醇、聚异戊二烯多元醇以及氢化聚异戊二烯多元醇中的多元醇(a1)与交联剂(a2)反应得到的。

2.根据权利要求1所述的基板的制造方法，其特征在于，所述多元醇(a1)与所述交联剂(a2)的反应为酯键形成反应。

3.根据权利要求1所述的基板的制造方法，其特征在于，所述多元醇(a1)与所述交联剂(a2)的反应为氨基甲酸酯键形成反应。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板的制造方法，其特征在于，所述多元醇(a1)为氢化聚丁二烯多元醇。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的基板的制造方法，其特征在于，所述(A)成分的树脂还具有(甲基)丙烯酸酯基。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的基板的制造方法，其特征在于，所述(A)成分的树脂还具有碱溶性基团。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的基板的制造方法，其特征在于，所述组合物还含有(B)烯属不饱和单体。

8.根据权利要求7所述的基板的制造方法，其特征在于，所述烯属不饱和单体是碳数6以上的脂肪族或脂环族烷基的(甲基)丙烯酸酯。

9.根据权利要求1～3中任一项所述的基板的制造方法，其特征在于，所述组合物还含有选自由(C)光聚合引发剂以及(H)热聚合引发剂组成的组中的至少1种。

10.根据权利要求1～3中任一项所述的基板的制造方法，其特征在于，所述组合物还含有(J)胶凝剂。

11.根据权利要求1～3中任一项所述的基板的制造方法，其特征在于，所述组合物还含有(I)触变性赋予剂。

12.根据权利要求1～3中任一项所述的基板的制造方法，其特征在于，所述组合物还含有(G)丙烯酸系粘合剂。

13.根据权利要求12所述的基板的制造方法，其特征在于，所述丙烯酸系粘合剂由选自由(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸异癸酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸正辛基酯、(甲基)丙烯酸二环戊基乙酯、丙烯酸二环戊酯、(甲基)丙烯酸金刚烷酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基-2-金刚烷酯以及(甲基)丙烯酸-2-乙基-2-金刚烷酯组成的组中的至少一种(甲基)丙烯酸酯构成。

14.根据权利要求12所述的基板的制造方法，其特征在于，所述组合物含有相对于100质量份所述(A)成分的树脂为50～3300质量份的所述丙烯酸系粘合剂。

15.根据权利要求13所述的基板的制造方法，其特征在于，所述组合物含有相对于100质量份所述(A)成分的树脂为50～3300质量份的所述丙烯酸系粘合剂。

16.根据权利要求1～3中任一项所述的基板的制造方法，其特征在于，所述组合物还含有(K)乳化剂。

17.根据权利要求1～3中任一项所述的基板的制造方法，其特征在于，将所述组合物涂布到基板上的方法为旋涂法、缝涂法、辊涂法、丝网印刷法或涂抹法。

18.根据权利要求1～3中任一项所述的基板的制造方法，其特征在于，所述基板为玻璃基板。