[发明专利]高速摄像方法和高速摄像装置

说明书

不依赖摄像机的摄像特性、高速地对工件进行摄像。具体而言，在一边使由多台具有线传感器的摄像机构成的摄像单元和对工件进行保持的保持台以规定的移动速度相对地水平移动一边对该工件进行摄像的摄像过程中，根据摄像机的台数将移动速度调整为比由线传感器的分辨率和扫描频率所决定的最佳移动速度快的速度，根据摄像机的台数均等地分割扫描频率，将该扫描频率轮流分配给摄像机，一边重复在各扫描频率的起始点进行摄像机的快门开启、并且将摄像机的曝光时间调整到各扫描频率内的循环，一边对所述工件进行摄像，并根据由摄像机取得的亮度值对工件的图像进行重构。

技术领域

本发明涉及对玻璃、半导体晶片以及电子基板等工件进行摄像的高速摄像方法和高速摄像装置。

背景技术

提出并实施有一种摄像方法，该方法如下所述：在沿扫描方向移动面型图像传感器的过程中，交替地重复进行在与移动方向垂直的水平方向上向与移动轨迹上的规定的位置错开1/2个像素的位置的移动，同时进行摄像(专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特许第3907560号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，作为摄像对象的工件，例如半导体器件等，为了增加单位时间的制造数量，在基于图像分析处理的检查装置等中要求高生产量。这里，为了缩短每张基板所花费的检查时间，提出有如下的方式：使对工件进行保持的保持台的移动高速化，或者配置多台摄像机。

使保持台的移动高速化很容易。然而，当进行超过摄像机的扫描频率的高速摄像时，会输出与本应取得的图像数据不同的图像。即，存在以下问题：无法超过由摄像机的分辨率和扫描频率决定的最佳移动速度而对工件进行摄像。

本发明是鉴于这样的情况而完成的，其主要目的在于提供一种高速摄像方法和高速摄像装置，不受摄像机的扫描频率限制、能够高速地对工件进行摄像。

用于解决课题的手段

本发明为了达成这样的目的，采用如下的结构。

即，作为对工件进行摄像的高速摄像方法的一个实施方式，其特征在于，

所述高速摄像方法具有：

摄像过程，一边使由多台具有线传感器的摄像机构成的摄像单元和对所述工件进行保持的保持台以规定的移动速度相对地水平移动，一边对该工件进行摄像；以及

图像重构过程，根据由各所述摄像机所取得的亮度值对工件的图像进行重构，

在所述摄像过程中，根据摄像机的台数将所述移动速度调整为比最佳移动速度快的速度，所述最佳移动速度由线传感器的分辨率和扫描频率决定，

根据所述摄像机的台数均等地分割由所述摄像机的扫描频率决定的扫描周期，

将所述分割后的扫描周期轮流分配给摄像机，一边重复被分配的所述分割后的扫描周期的起始点进行摄像机的快门开启、并且在被分配的所述分割后的扫描周期内调整摄像机的曝光时间的循环，一边对所述工件进行摄像，在该过程中，

一边重复使先行的摄像机和后行的摄像机轮流摄像以使未完成摄像的区域互相补充的摄像循环，一边对所述工件进行摄像，将针对每个摄像机所取得的多个像素的亮度值保存到存储部中，

在所述图像重构过程中，读出所取得的所述亮度值，根据所述摄像机的台数使读出的所述亮度值放大，并根据放大后的亮度值对工件的图像进行重构。