[发明专利]弹性波元件用复合基板及弹性波元件有效
| 申请号： | 201480016412.2 | 申请日： | 2014-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN105164919B | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 堀裕二;多井知义 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/64 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所31210 | 代理人： | 李晓 |
| 地址： | 日本国爱知县名*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 弹性 元件 复合 | ||
1.一种弹性波元件用复合基板，其特征在于，具备支承基板、以及
与所述支承基板接合、由压电单晶构成、传播弹性波的传播基板，
所述传播基板具有与所述支承基板接合的接合面以及与该接合面相对侧的表面，所述传播基板在所述表面侧具有所述压电单晶的晶格发生畸变的表面晶格畸变层，所述表面晶格畸变层的厚度在15nm以下。
2.根据权利要求1所述的复合基板，其特征在于，所述表面晶格畸变层的厚度在3nm以下。
3.根据权利要求1或2所述的复合基板，其特征在于，通过透射型电子显微镜观察，所述表面晶格畸变层为多层。
4.根据权利要求1或2所述的复合基板，其特征在于，所述弹性波为声表面波、兰姆波型弹性波或体声波。
5.根据权利要求1或2所述的复合基板，其特征在于，所述支承基板与所述传播基板直接接合或由粘合剂层接合。
6.根据权利要求5所述的复合基板，其特征在于，所述粘合剂层为厚度0.1μm～1.0μm的有机粘合剂层。
7.根据权利要求1或2所述的复合基板，其特征在于，所述压电单晶选自铌酸锂、钽酸锂及铌酸锂-钽酸锂固溶体单晶构成的群。
8.根据权利要求1或2所述的复合基板，其特征在于，所述支承基板由选自硅、氮化铝烧结体、氧化铝、碳化硅烧结体、氮化硅烧结体、硼硅酸玻璃及石英玻璃构成的群的材料构成。
9.根据权利要求4所述的复合基板，其特征在于，所述弹性波元件为声表面波滤波器或谐振器。
10.根据权利要求1或2所述的复合基板，其特征在于，所述传播基板的厚度为0.1μm～40μm。
11.根据权利要求1或2所述的复合基板，其特征在于，所述表面晶格畸变层的厚度在3nm以下，所述支承基板与所述传播基板直接接合或由粘合剂层接合，所述压电单晶选自铌酸锂、钽酸锂及铌酸锂-钽酸锂固溶体单晶构成的群，所述支承基板由选自硅、氮化铝烧结体、氧化铝、碳化硅烧结体、氮化硅烧结体、硼硅酸玻璃及石英玻璃构成的群的材料构成。
12.一种弹性波元件，其特征在于，具备权利要求1或2所述的复合基板以及设置在所述传播基板上的电极图案。
13.根据权利要求12所述的弹性波元件，其特征在于，所述弹性波元件是声表面波滤波器或谐振器。
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