[发明专利]用于反射镜的热致动的装置

权利要求书

1.用于光学系统中的反射镜的热致动的装置，所述反射镜具有反射镜基板(102，202)和光学有效表面(101，201)以及至少一个进入通道(110，111，112，210)，所述至少一个进入通道在该有效表面(101，201)的方向上从所述反射镜(100)的不对应于所述光学有效表面的表面延伸，

其中，具有能够可变地设定的冷却功率的冷却元件(120，220)突伸进所述至少一个进入通道(110，111，112，210)中；并且

其中，提供至少一个热源，用于将能够可变地设定的加热功率耦合进所述反射镜基板(102，202)的邻近所述光学有效表面的区域中；

其中，通过设定所述冷却元件(120，220)的冷却功率和所述至少一个热源的加热功率，能够实现所述光学有效表面(101，201)与所述反射镜(100)的不对应于所述光学有效表面的所述表面之间的热通量，所述热通量导致所述反射镜基板(102，202)中的温度梯度和热膨胀系数值的相关局部变化，以及

其中，所述冷却元件与所述热源不接触。

2.根据权利要求1的装置，其特征在于，所述装置是用于微光刻投射曝光设备中的反射镜的热致动的装置。

3.根据权利要求1的装置，其特征在于，所述装置具有多个所述进入通道(110，111，112，210)。

4.根据权利要求3的装置，其特征在于，这些进入通道(110，111，112，210)均分别分配有冷却元件(120，220)。

5.根据权利要求4的装置，其特征在于，能够彼此独立地设定所述冷却元件(120，220)的冷却功率。

6.根据前述权利要求中任一项的装置，其特征在于，至少一个冷却元件(120，220)具有管状几何形状。

7.根据权利要求1至5中任一项的装置，其特征在于，所述热源具有至少一个热发射器(130，230)，用于将加热辐射耦合进所述至少一个进入通道(110，210)。

8.根据权利要求7的装置，其特征在于，各个进入通道(110，111，112，210)分别分配有热发射器(130，230)。

9.根据权利要求8的装置，其特征在于，能够彼此独立地设定所述热发射器(130，230)的加热功率。

10.根据权利要求7的装置，其特征在于，所述至少一个热发射器(130，230)布置在所述进入通道(110，111，112，210)的面向所述光学有效表面(101，201)的端部中。

11.根据权利要求7的装置，其特征在于，所述加热辐射具有至少2.5μm的波长。

12.根据权利要求7的装置，其特征在于，所述加热辐射具有至少5μm的波长。

13.根据权利要求1至5中任一项的装置，其特征在于，所述反射镜具有反射涂层(550)，所述热源具有至少一个加热线(540)或至少一个消热导体轨道，其布置在所述反射镜基板(102)与所述反射涂层(550)之间。

14.根据权利要求1至5中任一项的装置，其特征在于，所述进入通道(110，111，112，210)在所述光学有效表面(101，201)的方向上从所述反射镜(100)的与所述光学有效表面(101，201)相对的表面延伸。