[发明专利]用于高效热循环的模块化基板加热器

权利要求书

1.一种用于基板处理腔室的基板支撑件，所述基板支撑件包括：

主体，所述主体具有顶板，所述顶板具有基板接收表面；和

可移动的加热器，所述加热器设置于所述主体中，所述加热器相对于所述顶板是可移动的，以根据所述可移动的加热器与所述顶板之间的距离来控制所述顶板的温度。

2.如权利要求1所述的基板支撑件，其中所述加热器包括多个灯模块。

3.如权利要求2所述的基板支撑件，进一步包括穿孔板，所述穿孔板具有与所述灯模块对准的多个孔。

4.如权利要求3所述的基板支撑件，其中所述多个灯模块相对于所述穿孔板是可移动的。

5.如权利要求4所述的基板支撑件，其中所述穿孔板相对于所述基板接收表面是可移动的。

6.如权利要求3所述的基板支撑件，其中所述灯模块的每一个包括壳体，所述壳体具有长度，且延伸通过所述穿孔板中的各个所述孔的所述壳体的所述长度为可调整的。

7.如权利要求2所述的基板支撑件，其中所述灯模块被分组成多个区域，且各个区域被单独地控制。

8.一种用于基板处理腔室的基板支撑件，所述基板支撑件包括：

主体，所述主体具有基板支撑表面和第一围绕体，所述第一围绕体设置于所述基板支撑表面下方；和

加热器，所述加热器设置于所述第一围绕体中，所述加热器包括第二围绕体，所述第二围绕体与所述第一围绕体流体连通，且所述加热器相对于所述基板支撑表面是可移动的，以根据所述加热器与所述基板支撑表面之间的距离来控制所述基板支撑表面的温度。

9.如权利要求8所述的基板支撑件，其中所述加热器耦接至杆组件，所述杆组件包括第一轴和第二轴，所述第一轴耦接至所述主体的底部，且所述第二轴设置于所述第一轴中。

10.如权利要求9所述的基板支撑件，其中所述第二轴耦接至所述加热器。

11.如权利要求8所述的基板支撑件，其中所述加热器包括多个灯模块，所述多个灯模块被单独地控制。

12.如权利要求11所述的基板支撑件，进一步包括穿孔板，所述穿孔板具有与所述灯模块对准的多个孔。

13.如权利要求12所述的基板支撑件，其中所述穿孔板和所述多个灯模块之一相对于所述基板支撑表面是可移动的。

14.一种用于基板处理腔室的基板支撑件，所述基板支撑件包括：

主体，所述主体具有顶板，所述顶板具有基板接收表面；和

多个热源，所述多个热源设置于所述主体中并且配置成发射光来加热所述顶板，其中所述多个热源的一部分被配置成相对于第二热源独立地控制由至少第一热源所发射的光；

其中所述多个热源相对于所述顶板是可移动的，以根据所述多个热源与所述顶板之间的距离来控制所述顶板的温度。