[发明专利]光波导元件以及光波导元件的制造方法有效
| 申请号： | 201480009860.X | 申请日： | 2014-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN105074545B | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 市川润一郎;近藤胜利 | 申请（专利权）人： | 住友大阪水泥股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035;G02F1/313 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 权太白;谢丽娜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 隆脊部 光波导元件 光波导形成 基板 极化处理工序 区域施加电压 方向延伸 极化方向 矫顽电场 形成工序 对基板 光波导 反转 隆脊 制造 掺杂 | ||
本发明的一个方面的光波导元件的制造方法包括：光波导形成工序，通过掺杂用于降低基板的矫顽电场的杂质来将沿第1方向延伸的光波导形成于基板；隆脊形成工序，形成包括光波导的第1隆脊部以及与第1隆脊部交叉的第2隆脊部；以及极化处理工序，通过对基板中的由第2隆脊部划分出的一方的区域施加电压，来将区域的极化方向反转。
技术领域
本发明涉及一种光波导元件以及光波导元件的制造方法。
背景技术
存在具备产生电光效应的基板以及设置于基板的光波导的光波导元件。例如，在专利文献1以及非专利文献1所记载的光调制元件中，通过使设置有光波导的基板的一部分极化反转，来实现光带的扩大。另外，在专利文献2所述的集成型光调制元件中，通过使设置有光波导的基板的一部分极化反转，来实现没有线性调频脉冲以及时间偏差(skew)的高精度的光信号的产生。另一方面，为了实现动作电压的降低以及光带的扩大，公知并广泛使用将包括光波导的部分形成为隆脊结构的光调制元件。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2005-284129号公报
专利文献2：日本特开2008-116865号公报
专利文献3：日本特开2005-275121号公报
非专利文献
非专利文献1：Janner,Davide,Michele Belmonte,and Valerio Pruneri.”Tailoring the Electrooptic Response and Improving the Performance OfIntegrated LiNbO3Modulators by Domain Engineering.”Journal of LightwaveTechnology 25.9(2007):2402-2409.
非专利文献2：Schreiber,G.,et al.”Efficient cascaded differencefrequency conversion in periodically poled Ti:LiNbO3waveguides using pulsedand cw pumping.”Applied Physics B 73.5-6(2001):501-504.
非专利文献3：Janner,D.,et al.”Grinding free electric-field poling ofTi indiffused z-cut LiNbO3 wafer with submicron resolution.”Applied Physics A91.2(2008):319-321.
非专利文献4：宮澤信太郎，and栗村直.分極反転デバイスの基礎と応用，オプトロニクス社.ISBN4-902312-11-5，2005
发明内容
发明所要解决的课题
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