[发明专利]光波导元件以及光波导元件的制造方法有效
| 申请号： | 201480009860.X | 申请日： | 2014-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN105074545B | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 市川润一郎;近藤胜利 | 申请（专利权）人： | 住友大阪水泥股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035;G02F1/313 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 权太白;谢丽娜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 隆脊部 光波导元件 光波导形成 基板 极化处理工序 区域施加电压 方向延伸 极化方向 矫顽电场 形成工序 对基板 光波导 反转 隆脊 制造 掺杂 | ||
1.一种光波导元件的制造方法，包括：
光波导形成工序，通过掺杂用于降低基板的矫顽电场的杂质而将沿第1方向延伸的光波导形成于所述基板；
隆脊形成工序，形成包括所述光波导的第1隆脊部以及与所述第1隆脊部交叉的第2隆脊部；以及
极化处理工序，通过对所述基板中的由所述第2隆脊部划分出的一方的区域施加电压，而将所述区域的极化方向反转。
2.根据权利要求1所述的光波导元件的制造方法，其中，
在所述隆脊形成工序中，以使所述第2隆脊部的高度大于所述基板的平坦度的方式形成所述第2隆脊部。
3.根据权利要求1或2所述的光波导元件的制造方法，其中，
在所述极化处理工序中，使用液体电极来对所述区域施加电压。
4.根据权利要求1或2所述的光波导元件的制造方法，其中，
在所述隆脊形成工序中，还形成与所述第1隆脊部交叉的第3隆脊部，
在所述极化处理工序中，通过对所述基板中的被所述第2隆脊部与所述第3隆脊部夹着的区域施加电压，而将所述被所述第2隆脊部与所述第3隆脊部夹着的区域的极化方向反转。
5.根据权利要求3所述的光波导元件的制造方法，其中，
在所述隆脊形成工序中，还形成与所述第1隆脊部交叉的第3隆脊部，
在所述极化处理工序中，通过对所述基板中的被所述第2隆脊部与所述第3隆脊部夹着的区域施加电压，而将所述被所述第2隆脊部与所述第3隆脊部夹着的区域的极化方向反转。
6.一种光波导元件，
包括基板，该基板具有沿第1方向延伸的第1隆脊部以及与所述第1隆脊部交叉的第2隆脊部，
所述第1隆脊部具有沿所述第1方向延伸的光波导，
所述光波导包含用于降低所述基板的矫顽电场的杂质，
所述基板具有沿所述第1方向依次配置的第1区域以及第2区域，
所述第1区域的极化方向与所述第2区域的极化方向相反，
所述第2隆脊部设置在所述第1区域与所述第2区域的边界上。
7.根据权利要求6所述的光波导元件，其中，
所述第2隆脊部的高度大于所述基板的平坦度。
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