[发明专利]保管架

权利要求书

1.一种保管架，具备供对象物载置的载置部、以及支承该载置部的框部，

所述保管架的特征在于，

所述载置部具备：

经由第一弹性体配置于所述框部的框架、以及

经由第二弹性体配置于所述框架并且供所述对象物载置的架板，

所述框部具备相互对置的一对梁部件，

所述框架架设于所述一对梁部件，并具有：

凹部，其位于一对所述梁部件之间，并具有沿一对所述梁部件的对置方向延伸的基部、与从该基部的两端部立起的一对立起部；以及

伸出部，其从所述立起部的端部伸出，并且经由所述第一弹性体配置于所述梁部件，

所述第二弹性体配置于所述框架的凹部。

2.根据权利要求1所述的保管架，其特征在于，

所述对象物是收纳晶圆的FOUP，

所述载置部具备配置于所述框架与所述架板之间并且刚性比所述第一弹性体以及第二弹性体高的第三弹性体，

在将所述FOUP载置到所述架板时，所述第三弹性体配置于所述FOUP的盖所在的一侧。

3.根据权利要求1或2所述的保管架，其特征在于，

所述框部安装于行驶台车的轨道或者支承该轨道的支承部件。