[发明专利]加热接合装置及加热接合产品的制造方法

权利要求书

1.一种加热接合装置，具备：

真空腔体，容纳加热接合的目标物体和缓冲器部；

加热器，对与容纳于所述真空腔体内的所述目标物体接触而配置的所述缓冲器部加热；

冷却器，对由所述加热器加热了的缓冲器部的热量进行排热；

目标物体温度传感器，检测经由所述缓冲器部而被加热了的目标物体的温度；以及

控制装置，在所述真空腔体的内部为真空的状况下，通过调节由所述冷却器进行的从所述缓冲器部的排热来对所述目标物体的温度进行控制，以使由所述目标物体温度传感器检测被加热了的所述目标物体而得到的温度成为适于所述加热接合的规定的目标温度，

所述加热器由通过热辐射对所述缓冲器部加热的热辐射加热器构成；

所述冷却器具有冷却块和驱动装置，该驱动装置以使所述冷却块相对于所述缓冲器部接近及分离的方式相对地进行驱动；

所述控制装置构成为，通过对所述冷却块的接近和分离进行调节而控制所述目标物体的温度，

所述冷却块被设置为梳齿形状，且所述梳齿被配设于多个所述热辐射加热器之间，

所述多个热辐射加热器与所述冷却块被设置为能够相对移动，所述驱动装置以使所述冷却块相对于所述缓冲器部接近及分离的方式相对地进行驱动，其中，所述驱动装置以所述梳齿从多个所述热辐射加热器之间突出并与所述缓冲器部抵接并使所述缓冲器部远离所述热辐射加热器的方式使所述冷却块接近所述缓冲器部。

2.如权利要求1所述的加热接合装置，

所述缓冲器部作为用于载置所述目标物体的载置台而构成，

所述加热器及所述冷却器被设置于所述载置台的内部。

3.如权利要求1或2所述的加热接合装置，还具备：

缓冲器温度传感器，检测所述缓冲器部的温度；以及

真空破坏装置，对所述真空腔体内的真空进行真空破坏；

所述控制装置构成为，在所述目标物体温度传感器的第1检测温度与所述缓冲器温度传感器的第2检测温度之间的温度差在规定的温度差的范围内时，操作所述真空破坏装置对所述真空腔体内的真空进行真空破坏。

4.如权利要求3所述的加热接合装置，

所述控制装置构成为，以在对所述真空腔体内的真空进行了真空破坏后，使所述目标物体的温度下降到比接合材料的熔点低的温度的方式进行控制。

5.如权利要求3所述的加热接合装置，

还具备真空泵，该真空泵将所述真空腔体内排气成真空；

所述控制装置构成为以如下方式进行控制，即，通过将由所述真空泵进行的排气和由所述真空破坏装置进行的真空破坏进一步组合进行调节，来调节从所述缓冲器部向所述目标物体的热传递从而所述目标物体成为所述规定的目标温度。

6.一种加热接合产品的制造方法，具备：

在权利要求1至5中任一项所述的加热接合装置中使所述加热接合的目标物体与所述缓冲器部接触而配置并装填到所述加热接合装置中的步骤；以及

使用所述加热接合装置对所述目标物体加热接合的步骤。

7.一种加热接合产品的制造方法，具备：

将加热接合的目标物体和缓冲器部以使所述目标物体和所述缓冲器部接触而配置的方式放置于真空下的步骤；

加热步骤，对放置于所述真空下的所述缓冲器部加热；

排热步骤，保持放置于所述真空下地对所述加热了的缓冲器部的热量进行排热；

温度检测步骤，检测经由所述缓冲器部被加热了的目标物体的温度；以及

控制步骤，基于所述检测到的所述目标物体的温度，调节所述排热步骤的排热来控制所述目标物体的温度，以使所述目标物体的温度成为适于加热接合的规定的目标温度，

在所述加热步骤中，通过多个热辐射加热器进行的热辐射对所述缓冲器部进行加热，

在所述排热步骤中，由冷却器对所述缓冲器部的热量进行排热，

所述冷却器具有：

冷却块，所述冷却块被设置为梳齿形状且所述梳齿配置于所述多个热辐射加热器之间；以及

驱动装置，以使所述冷却块相对于所述缓冲器部接近及分离的方式相对地进行驱动，其中，所述驱动装置以所述梳齿从所述多个热辐射加热器之间突出并与所述缓冲器部抵接并使所述缓冲器部远离所述热辐射加热器的方式使所述冷却块接近所述缓冲器部。