[发明专利]加热接合装置及加热接合产品的制造方法

权利要求书

1.一种加热接合装置，具备：

真空腔体，容纳加热接合的目标物体和缓冲器部；

加热器，对与容纳于所述真空腔体内的所述目标物体接触而配置的所述缓冲器部加热；

目标物体温度传感器，检测经由所述缓冲器部而被加热了的目标物体的温度；

缓冲器温度传感器，检测所述缓冲器部的温度；

真空破坏装置，对所述真空腔体内的真空进行真空破坏；及

控制装置，具有记录规定的温度差的设定值的设定值存储部，

所述控制装置以如下方式进行控制：在所述目标物体温度传感器检测到的所述目标物体的温度达到规定的目标温度后且所述目标物体温度传感器的第1检测温度与所述缓冲器温度传感器的第2检测温度之间的温度差在所述规定的温度差的范围内时，在尽可能早的时刻，操作所述真空破坏装置对所述真空腔体内的真空进行真空破坏，所述规定的目标温度是被设定为比软钎料的熔点稍高的温度，所述设定值是以所述目标物体不会由真空破坏而热破坏的方式确定的温度差。

2.如权利要求1所述的加热接合装置，

所述控制装置构成为，以在对所述真空腔体内的真空进行了真空破坏后，使所述目标物体的温度下降到比接合材料的熔点低的温度的方式进行控制。

3.如权利要求1或者2所述的加热接合装置，

还具备真空泵，该真空泵将所述真空腔体内排气成真空；

所述控制装置构成为以如下方式进行控制，将由所述真空泵进行的排气与由所述真空破坏装置进行的真空破坏进一步组合而进行调节，从而调节从所述缓冲器部向所述目标物体的热传递来防止所述目标物体过热。

4.如权利要求1或者2所述的加热接合装置，

还具备真空泵，该真空泵将所述真空腔体内排气成真空；

所述控制装置构成为以如下方式进行控制，将由所述真空泵进行的排气与由所述真空破坏装置进行的真空破坏进一步组合而进行调节，从而调节从所述缓冲器部向所述目标物体的热传递来使所述第1检测温度与所述第2检测温度的之间的温度差在所述规定的温度差的范围内。

5.如权利要求1或2所述的加热接合装置，

所述缓冲器部作为用于载置所述目标物体的载置台而构成，

所述加热器被设置于所述载置台的内部。

6.如权利要求3所述的加热接合装置，

所述缓冲器部作为用于载置所述目标物体的载置台而构成，

所述加热器被设置于所述载置台的内部。

7.如权利要求4所述的加热接合装置，

所述缓冲器部作为用于载置所述目标物体的载置台而构成，

所述加热器被设置于所述载置台的内部。

8.一种加热接合产品的制造方法，具备：

在权利要求1至7中任一项所述的加热接合装置中使所述加热接合的目标物体与所述缓冲器部接触而配置并装填到所述加热接合装置中的步骤；及

使用所述加热接合装置对所述目标物体加热接合的步骤。

9.一种加热接合产品的制造方法，具备：

将加热接合的目标物体和缓冲器部以使所述目标物体与所述缓冲器部接触而配置的方式放置于真空下的步骤；

加热步骤，对放置于所述真空下的所述缓冲器部加热；

目标物体温度检测步骤，检测经由所述缓冲器部而被加热了的目标物体的温度；

缓冲器温度检测步骤，检测所述缓冲器部的温度；及

真空破坏步骤，在所述目标物体温度检测步骤检测到的所述目标物体的温度达到规定的目标温度后且检测到的目标物体的第1检测温度与检测到的缓冲器部的第2检测温度之间的温度差在规定的温度差的范围内时，在尽可能早的时刻，破坏所述真空，所述规定的目标温度是被设定为比软钎料的熔点稍高的温度，所述规定的温度差是以所述目标物体不会由真空破坏而热破坏的方式确定的温度差。