[发明专利]等离子体产生装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种等离子体产生装置，其为使用通过电介质阻挡放电所产生的等离子体，而可进行杀菌处理、表面改质处理、除臭处理及洗净处理等。

背景技术

电介质阻挡放电可通过将交流电压经由电介质施加于电极间，在气体中产生放电，并通过该等离子体而进行杀菌处理、表面改质处理、除臭处理及洗净处理等。

就此种电介质阻挡放电的一个方式而言，具有:将2个梳状或2个平板状的电极横向并列设置于1个电介质内，于这些2个电极间施加交流电压，以使之放电的面放电方式的技术(例如，参照专利文献1及专利文献2等)。

在使用如此的电介质阻挡放电的等离子体产生装置中，一般是于电介质层使用陶瓷，以高电压进行放电。

[現有技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本特开2006-331664号公报

专利文献2：日本特开2009-064993号公报

发明内容

(发明所欲解决的问题)

然而，所述以往的等离子体产生装置中具有如下的问题。

在所述以往的等离子体产生装置中，是使用陶瓷作为电介质层，故于电介质层无可挠性。故，很难以大规模制作所期望的面形状的等离子体产生装置。因此，将需要大处理面积的等离子体产生装置作成所期望的形状，必须排列设置多个小型放电装置。结果，有等离子体产生装置的配线变多且烦杂，制作作业耗费时间劳力，制造成本变高的问题。此外，因施加高电压而使之放电，故在节省能源的层面上也有问题。

对于此，可提出一种以高耐热且高介电率的高分子树脂形成面放电方式的等离子体产生装置所用的电介质层的技术。

高分子树脂可挠性高且可以薄膜状形成电介质层，故容易以所期望的形状制作需要大处理面积的等离子体产生装置。

又，在电介质表面连续进行电介质阻挡放电，安定且广区域地产生等离子体，必须将高电压的交流电压施加于2个电极间。

然而，高分子树脂相较于陶瓷，对于电压的耐久性弱，于电介质层使用高分子树脂的等离子体产生装置中，其寿命短。并且，在须要接近高分子树脂的绝缘破坏电压的放电电压的等离子体产生装置中，无法使用高分子树脂作为电介质层。

因此，通过将可挠性优异的高分子树脂使用于电介质层，可制作大规模且应付各种面形状的等离子体产生装置，但因必须施加高电压，故在装置寿命的方面、或节省能源的方面产生问题。

本发明是为了解决所述问题而成者，目的在于提供一种等离子体产生装置，其可制作大规模且应付各种面形状的装置，同时可使装置寿命长寿命化及节省能源化。

(解决问题的手段)

为了解决所述问题，权利要求1的发明为一种等离子体产生装置，其具备电介质层、并列设置于该电介质层内的第1及第2电极、用以对这些第1及第2电极施加特定电压的电源；将所述电介质层以高耐热且高介电率的高分子树脂形成，使第1金属层以从该电介质层表面仅隔开特定距离的状态配置，并且以从表面侧覆盖所述第1及第2电极整体的方式与第1及第2电极面对面的构成。

通过如此的构成，使用富有可绕性的高分子树脂，故可形成大面积且具有所期望的形状的电介质层。

然后，若通过电源例如将交流电压施加于第1及第2电极，成为第1电极与第2电极具有互为相反的极性的状态。

此时，第1金属层以覆盖第1及第2电极整体的方式与第1及第2电极面对面，故当第1电极为正极(或负极)的状态时，第1金属层中与该第1电极面对面的区域成为负极(或正极)的状态。因此，电介质阻挡放电在第1电极的整面与第1金属层的面对面区域之间产生。另一方面，第2电极为负极(或正极)的状态，故第1金属层中与该第2电极面对面的区域成为正极(或负极)的状态。因此，电介质阻挡放电是在第2电极的整面与第1金属层的面对面区域之间产生。

因此，电介质阻挡放电在第1及第2电极的几乎整面与第1金属层的几乎整面之间产生，等离子体在第1金属层与电介质层之间的间隙的几乎全部区域产生。

使放电在横向并列的第1及第2电极间直接进行的面放电，是为了使等离子体安定且广区域产生，必须要相当的高电压。然而，如上所述，通过使用该发明的等离子体产生装置，可以低电压产生安定且广区域的等离子体。

结果，通过低电压放电，树脂劣化少，且装置可长寿命化。此外，可以低电压进行驱动，故也可降低能量消耗量。