[发明专利]等离子体产生装置

权利要求书

1.一种等离子体产生装置，其具备电介质层、并列设置于该电介质层内的第1及第2电极、及用以对这些第1及第2电极施加特定电压的电源，其特征为，

所述电介质层是以高分子树脂层夹住所述第1及第2电极而成，

所述高分子树脂层是以高耐热且高介电率的高分子树脂而形成，

在所述高分子树脂层的两边缘部形成有支撑部，将第1金属层以从该电介质层的表面仅隔开特定距离的状态以架设于所述支撑部上的方式配设，并且以从表面侧覆盖所述第1及第2电极整体的方式与第1及第2电极面对面。

2.根据权利要求1所述的等离子体产生装置，其特征为，将第2金属层以从该电介质层的背面仅隔开特定距离的状态配设，并且以从背面侧覆盖所述第1及第2电极整体的方式与第1及第2电极面对面。

3.根据权利要求1或2所述的等离子体产生装置，其特征为，将用以使所述金属层与电介质层的间隙所产生的流体流出至金属层表面侧的多个孔设置于所述金属层。

4.根据权利要求3所述的等离子体产生装置，其特征为，将所述金属层形成为网目状。

5.根据权利要求1或2所述的等离子体产生装置，其特征为，以具有杀菌作用的金属形成所述金属层。

6.根据权利要求1或2所述的等离子体产生装置，其特征为，所述高分子树脂为聚酰亚胺树脂、氟系树脂或聚硅氧树脂的任何一个。