[发明专利]滑动式回压关断阀有效
| 申请号: | 201480005081.2 | 申请日: | 2014-01-16 |
| 公开(公告)号: | CN105008779B | 公开(公告)日: | 2018-06-12 |
| 发明(设计)人: | 徐晙荣 | 申请(专利权)人: | (株)尤恩爱搜路斯;慎敬顺 |
| 主分类号: | F16K17/22 | 分类号: | F16K17/22 |
| 代理公司: | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人: | 罗银燕 |
| 地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 回压 关断阀 流体 关断 关断位置 流体通过 流动 滑动式 空间部 断流 半导体制造过程 流体流出部 流体流入部 反向流动 化学产品 流体空间 配管系统 维持应用 移动单元 制造过程 阀主体 阻碍物 浮起 配管 直管 制程 半导体 | ||
1.一种滑动式回压关断阀,其特征在于,
包括:
阀主体,其上下配置有流体流入部和流体流出部,且在所述流体流入部与流体流出部之间包括流体通过空间部,该流体通过空间部形成了用于所述流体通过的空间;
移送体,其上部安装有封闭所述流体流入部的关断板,在关断流体时,该移送体移动到所述流体通过空间部的位置;以及
移送体移动单元,其移动所述移送体,
在从外部发生回压生成信号时,所述移送体移动单元将所述移送体移送到封闭所述流体流入部的位置,安装在所述移送体上的关断板因所述阀主体内的回压所引起的压力差而浮起,从而封闭所述流体流入部来关断回压,
所述关断板为圆板形,其外径大于所述流体流入部的直径,在所述关断板的下部面形成有突起部,当所述关断板被安装于所述移送体时,该突起部限制所述关断板的水平移动,
在所述阀主体还包括防粉末流入缸,
在所述防粉末流入缸的内部具备利用从外部所供应的压缩空气而上下移动的防粉末流入环,
通过所述防粉末流入环阻止粉末流入到收容所述移送体和移送体移动单元的空间内,
在从外部发生回压时,将压缩空气供应到防粉末流入缸,使得所述防粉末流入环先开始开放,为了即使在所述防粉末流入环完全开放之前也能使所述移送体移动单元将所述移送体移送到封闭所述流体流入部的位置,在所述移送体中安装所述关断板的移送体主体的下部形成有一定厚度(t)的空间。
2.如权利要求1所述的滑动式回压关断阀,其特征在于,
所述移送体移动单元将所述移送体结合在空压缸或电马达这样的驱动单元的旋转轴上,利用所述旋转轴的旋转而使得所述移送体移动到封闭所述流体流入部的位置。
3.如权利要求2所述的滑动式回压关断阀,其特征在于,
所述移送体包括与所述旋转轴结合的旋转轴结合部及安装所述关断板的移送体主体,所述移送体主体形成了小于所述关断板的直径的开放的圆形空间,以安装所述关断板。
4.如权利要求1所述的滑动式回压关断阀,其特征在于,
所述移送体移动单元在空压缸或电马达这样的驱动单元连接连杆单元的一端部并在所述连杆单元的另一端部结合所述移送体,当所述驱动单元进行动作而所述连杆单元伸展时,所述移送体移动到封闭所述流体流入部的位置。
5.如权利要求4所述的滑动式回压关断阀,其特征在于,
所述移送体包括安装所述关断板的移送体主体和结合所述连杆单元的连杆单元结合部,所述移送体主体形成了小于所述关断板的直径的开放的圆形空间,以安装所述关断板。
6.如权利要求3或5所述的滑动式回压关断阀,其特征在于,
所述移送体主体具备用于实现顺利移动的轮子。
7.如权利要求1所述的滑动式回压关断阀,其特征在于,
该滑动式回压关断阀在如下部位安装O型环,以维持气密,该部位是在如下情况中在所述阀主体与所述关断板抵接的部位,该情况为,所述关断板因所述阀主体内的回压引起的压力差而浮起,因此封闭所述流体流入部,关断了回压。
8.如权利要求7所述的滑动式回压关断阀,其特征在于,
所述阀主体中安装了所述O型环的面与所述移送体的上部面之间的高度(A)或者与所述突起部突出的下部面之间的高度(D)小于所述关断板的厚度(B)与形成于所述关断板的下部面的突起部的高度(C)之和[A或D<(B+C)]。
9.如权利要求1所述的滑动式回压关断阀,其特征在于,
所述防粉末流入环是两段折弯的圆筒型,借助于供应给所述防粉末流入缸所具备的压缩空气流入部的压缩空气而上下移动。
10.如权利要求1所述的滑动式回压关断阀,其特征在于,
形成于所述移送体主体的下部的一定厚度(t)的空间是具有1mm以上厚度的空间。
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