[发明专利]垫片一体型陶瓷孔板

说明书

技术领域

本发明涉及一种使用于流量控制装置等中的垫片一体型孔板的改良。更具体而言，涉及使用具有高精度孔径的陶瓷薄板制孔板的高耐腐蚀性的垫片一体型陶瓷孔板来取代金属薄板制孔板。

背景技术

以往，以孔板来说，大多使用如下的构造，即通过机械加工等在金属薄板贯穿设置流孔，并在配管管路的接头部、机器与管路的连接部等适当地方将贯穿设置有该流孔的金属薄板夹入管路内，而直接将其锁紧固定。

可是，如上述这样直接锁紧固定的形式的孔板，因为在锁紧时会有金属薄板变形的情况，所以不能大幅度缩小金属薄板的厚度。因此，使用容易获得所期望的形态及孔径的薄板，会有所谓不能容易地制造高精度的流量特性的孔板的问题。

本案申请人先开发了将厚度500～1000μm的极薄金属板气密状地夹在具有嵌合用突部的孔座与具有嵌合用凹部的孔座的内侧端面之间，并且以两孔座的外侧端面作为垫片的密封面的结构的垫片一体型孔板，并将其公开(日本专利特开2007-057474号，日本专利特开2010-151698号)。

图16至图18是表示使用上述极薄金属板的垫片一体型孔板38的一个示例，其是将具备嵌合用突部38a₁的孔座38a与具备嵌合用凹部38b₁的孔座38b组合，将金属薄板制的孔板38c气密状地夹在两者的内侧端面间，并且以两孔座38a、38b的两端面38a₃、38b₃或38a₄、38b₄作为垫片的密封面的部件。

另外，图18是使具备嵌合用凹部38b₁的孔座38b的外径形成为比具备嵌合用突部38a₁的孔座38a的外径更大，并且也以其外周部的内侧端面38d作为密封面的部件。

即，该垫片一体型孔板38例如如图18所示，被插入在阀体7的下游侧端面形成的流孔收纳用凹处7c内，通过将出口侧块体10向着阀体7按压固定，可通过各密封面38a₃、38b₃、38d保持垫片一体型孔板的气密性。

此外，在图18中，7d、7e、10d是用于卡入各密封面提高密封功能的环状突起。

上述图16及图18的垫片一体型孔板38因为是将孔板38c气密状地嵌合夹在两孔座38a、38b间的结构，所以即使是极薄的金属板或金属皮膜也能够不发生变形等地夹持在两孔座38a、38b之间。因此，具有高精度的流孔的孔板38c的使用成为可能，并且利用两孔座的外侧端作为密封面，由此可将垫片一体型孔板38自身作为垫片紧密地锁紧固定到管路等中，能够达到优异的实用的效用。

另外，图18的垫片一体型孔板38因为是分别以凸形的孔座38a的外侧端面38a₃与凹形的孔座38b的外侧端面38b₃以及内侧端面的外周部38d作为密封面，所以可将垫片一体型孔板紧密地锁住固定在流体通路中，并且通过三处密封面可获得更高的密封性，除此之外，可获得利用所述密封面38d能够完全防止从孔板38c的密封部向外部的泄漏等的优秀的效用。

如上述这样，图16～图18的垫片一体型孔板38虽可达到很多优秀的效用，可是直到现在还残留有许多必须解决的问题。其中，防止因金属制孔板38c的腐蚀使流孔的形态改变，从而造成流量特性变动成为紧急的课题。

即，在上述垫片一体型孔板38中，为了提高流孔的直径尺寸、孔形状的精度，使用厚度30～1000μm的极薄金属板(例如SUS316L-P(W熔解材料)、杂质少的NK清洁材料Z等)，形成内径10～500μm的圆形孔。

因此，孔板38c因流体的接触流动比较容易被腐蚀或被侵蚀，尤其在流体为含臭氧气体、含氯气体、含溴化氢气体等腐蚀性气体时，流孔的直径、形态大幅变化，由此在用于流量控制装置等的垫片一体型孔板38的情况下，产生流量控制装置的流量控制精度大幅下降等不合适的问题。

另外，垫片一体型孔板38的更换频率必然会增加，而会有所谓因其更换必须要费事的情况而造成修补成本高涨的问题。

专利文献1：日本专利特开2007-057474号公报

专利文献2：日本专利特开2010-151698号公报

发明内容