[发明专利]高精细金属图案的形成方法、高精细金属图案及电子构件有效
| 申请号: | 201480002136.4 | 申请日: | 2014-03-06 |
| 公开(公告)号: | CN104583455B | 公开(公告)日: | 2018-05-25 |
| 发明(设计)人: | 义原直;胜田晴彦;片山嘉则;白发润;村川昭;富士川亘;齐藤公惠 | 申请(专利权)人: | DIC株式会社 |
| 主分类号: | C23C18/30 | 分类号: | C23C18/30;H05K3/18 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 蒋亭 |
| 地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 金属图案 高精细 电子构件 图案 受理层 凸版反转印刷 聚氨酯树脂 树脂组合物 乙烯基树脂 重均分子量 析出 非电解镀 复合技术 剖面形状 印刷工艺 层叠体 密合性 镀敷 基板 墨液 粒子 金属 印刷 赋予 制造 | ||
1.一种高精细金属图案形成方法,其包括:
(1)在基板上涂布包含重均分子量为5千以上的聚氨酯树脂(a1)或乙烯基树脂(a2)、和介质(a3)的树脂组合物(a)而形成受理层(A)的工序;
(2)利用凸版反转印刷法印刷含有成为镀核的粒子(b1)的墨液(b),在受理层(A)上形成镀核图案(B)的工序;和
(3)利用非电解镀使金属向工序(2)中形成的镀核图案(B)上析出的工序,
其中,成为镀核的粒子(b1)是体积平均粒径Mv为2~100nm的金属纳米粒子,该金属纳米粒子是被含有碱性氮原子的有机化合物保护且分散到所述墨液(b)中的粒子。
2.根据权利要求1所述的高精细金属图案形成方法,其中,所述聚氨酯树脂(a1)是具有亲水基和相对于总量为2000mmol/kg~5500mmol/kg的脂肪族环式结构的聚氨酯树脂。
3.根据权利要求1所述的高精细金属图案形成方法,其中,所述乙烯基树脂(a2)是使含有甲基丙烯酸甲酯10~70质量%和具有碳原子数2~12的烷基的(甲基)丙烯酸烷基酯10~50质量%的乙烯基单体混合物聚合而得的树脂。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的高精细金属图案形成方法,其中,所述树脂组合物(a)是含有由包含聚氨酯树脂(a1)的壳层和包含乙烯基树脂(a2)的核层构成的复合树脂粒子的树脂组合物。
5.根据权利要求1所述的高精细金属图案形成方法,其中,在所述树脂组合物(a)中的聚氨酯树脂(a1)或乙烯基树脂(a2)中具有能够与保护金属纳米粒子的、含有碱性氮原子的有机化合物发生交联反应的官能基。
6.根据权利要求1~3中任一项所述的高精细金属图案形成方法,其中,所述墨液(b)中还含有氟系表面能调节剂和/或硅系表面能调节剂。
7.根据权利要求1~3中任一项所述的高精细金属图案形成方法,其中,所述凸版反转印刷法为包括以下步骤的印刷法:
(i)在橡皮滚筒的斥液表面上形成均匀的墨液膜;
(ii)将凸版按压到该墨液膜面而将与该凸版接触的部分的墨液从橡皮滚筒上除去,之后
(iii)将残留在橡皮滚筒上的墨液转印到被印刷体,形成目标图案。
8.一种高精细金属图案,其特征在于,其是利用权利要求1~7中任一项所述的图案形成方法来形成的。
9.一种电子构件,其特征在于,其包含权利要求8所述的高精细金属图案。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理





