[发明专利]玻璃基板的制造方法以及玻璃基板制造装置

说明书

包括使用内壁的至少一部分由含有铂族金属的材料构成的处理装置，处理含有因还原反应而放出氧的澄清剂的熔融玻璃的工序。另外，在处理熔融玻璃的工序中，在由处理装置的内壁和熔融玻璃的表面形成的气相空间中，通过调整从熔融玻璃放出的氧的量而控制气相空间的氧浓度，从而抑制铂族金属的挥发。另外，在处理装置的内部，以气泡放出量最大位置和熔融玻璃在熔融玻璃的流动方向的温度分布的最高温度位置、在熔融玻璃的流动方向上分开的方式调整气泡放出量最大位置，其中在气泡放出量最大位置，从熔融玻璃的表面放出至所述气相空间的气泡的放出量为最大。

技术领域

本发明有关玻璃基板的制造方法以及玻璃基板制造装置。

背景技术

一般而言，玻璃基板的制造，在从玻璃原料生成熔融玻璃之后，经过澄清工序、搅拌工序或同质化工序之后，包含将熔融玻璃成形为玻璃基板的工序。

在进行上述工序的任一种处理装置中，对于与熔融玻璃接触的构件，都需要根据与该部件接触的熔融玻璃的温度、所要求的玻璃基板的品质等，使用适当的材料。也就是说，为了从高温的熔融玻璃量产高等级的玻璃基板，优选考虑，作为玻璃基板的缺陷的主要原因的异物等，不从制造玻璃基板的任一玻璃处理装置混入熔融玻璃。例如，在生成熔融玻璃之后，由于直至供给至成形工序为止的熔融玻璃为极高温状态，因此，进行熔融、澄清、供给、搅拌等的各种处理的处理装置，使用含有高耐热性的铂族金属(例如，铂)的构件。(例如，参照专利文献1)。

在上述的工序中包含除去熔融玻璃内含的微小的气泡的澄清工序。对于液晶显示器或等离子显示器等的面板显示器或用于平板显示器(FPD)的玻璃基板，需要排除残存于熔融玻璃中的气泡所导致的缺陷。

因此，在面板显示器或FPD用玻璃基板的制造中，进行澄清工序。澄清如下进行：在加热澄清管的主体的同时，使含有澄清剂的熔融玻璃通过该澄清管主体，通过澄清剂的氧化还原反应而除去熔融玻璃中的气泡。

更具体而言，使用因还原反应放出氧的澄清剂，在澄清管中通过进一步提高粗熔解的熔融玻璃的温度，通过澄清剂的还原而使氧放出，在使熔融玻璃中的气泡上浮脱泡后，通过降低温度，将未完全脱泡而残留的氧用于被还原的澄清剂的氧化而使熔融玻璃吸收残留的氧。在高温下进行澄清工序的澄清管也使用含有耐热性高的铂族金属(例如，铂)的构件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-111533号公报

发明内容

发明所要解决的课题

澄清工序，在熔解工序至成形工序之间为熔融玻璃的温度最高的工序，进行澄清工序的澄清管，为了加热熔融玻璃而被加热至极高的温度。于是，用于澄清管的铂族金属，被由于熔融玻璃中的澄清剂的还原而产生的氧而氧化，作为氧化物挥发。另一方面，铂族金属的氧化物，在澄清管的局部温度下降的位置被还原，被还原的铂族金属凝集并附着于澄清管的内壁面。当附着于内壁面的铂族金属的一部分作为异物而混入熔融玻璃中时，有可能招致玻璃基板的品质的下降。特别是，由于澄清工序，在熔解工序至成形工序之间为熔融玻璃的温度最高的工序，因此，在主要进行澄清工序的澄清管中，被加热为极高的温度。因此，澄清管中的铂族金属的挥发旺盛，特别希望降低铂族金属的挥发及凝集。

本发明的目的在于提供一种玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置，在玻璃基板的成形前，在处理熔融玻璃的工序中，降低用于玻璃处理装置的铂族金属的挥发，由此，能够抑制异物混入熔融玻璃。

解决课题的技术方案

本发明的玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置包含以下的方式。

(方式1)