[发明专利]玻璃基板的制造方法以及玻璃基板制造装置

权利要求书

1.一种玻璃基板的制造方法，使用处理熔融玻璃的处理装置处理熔融玻璃，其特征在于，

具有熔解玻璃原料而生成熔融玻璃的工序，

并包括处理含有因还原反应而放出氧的澄清剂的熔融玻璃的工序，

在处理所述熔融玻璃的工序中，

以在熔融玻璃的表面的上部形成气相空间的方式，向内壁的至少一部分由含有铂族金属的材料构成的处理装置的内部供给熔融玻璃，并且，在所述处理装置中，使所述熔融玻璃在沿着所述熔融玻璃的与所述气相空间接触的表面的方向上流动，

所述处理装置中的与气相空间接触的内壁的温度具有沿所述熔融玻璃的流动方向的温度分布，在所述熔融玻璃的处理中，以所述熔融玻璃的流动方向的气泡放出量最大位置与所述熔融玻璃的流动方向上的所述温度分布的最高温度位置在所述熔融玻璃的流动方向上分开的方式调整所述气泡放出量最大位置而使所述气相空间的氧浓度为0～10％，其中，在所述气泡放出量最大位置，从与所述气相空间接触的熔融玻璃的表面放出至所述气相空间的气泡的放出量为最大，

所述处理装置包括所述内壁的至少一部分由含有铂族金属的材料构成的、至少进行所述熔融玻璃的脱泡的澄清管，

在所述澄清管上设置有用于连通所述气相空间和所述处理装置的外侧的大气的排气管，

所述熔融玻璃的流动方向上的所述排气管的配置位置在所述气泡放出量最大位置和所述最高温度位置之间，

在所述澄清管的外周设置有沿所述澄清管的外侧延伸的凸缘构件，所述凸缘构件的所述熔融玻璃的流动方向的配置位置位于所述气泡放出量最大位置和所述排气管的配置位置之间的区域以外的区域。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，

处理所述熔融玻璃的工序为包括在所述澄清管中进行所述熔融玻璃的脱泡的脱泡处理的澄清工序。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，

使用计算机模拟预测所述气泡放出量最大位置，

使用所述计算机模拟确定处理条件，以使所述气泡放出量最大位置与所述最高温度位置在所述熔融玻璃的流动方向上分开。

4.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，通过所述熔融玻璃的温度分布、以及所述熔融玻璃的流速中的至少一项的调整进行所述气泡放出量最大位置的调整。

5.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，所述气泡放出量最大位置相对于所述最高温度位置，位于所述熔融玻璃的流动的下游侧。

6.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，

所述气泡放出量最大位置和所述熔融玻璃的流动方向上的所述排气管的配置位置以所述温度分布的最高温度位置为基准，位于所述熔融玻璃的流动方向的同一侧。