[发明专利]用于提高质量流量控制器中的指示流量的系统和方法

权利要求书

1.一种用于从质量流量控制器提供指示流量的方法，所述方法包括以下步骤：

获得表示所述质量流量控制器所控制的流体的质量流速的测量流量信号；

对所述测量流量信号进行滤波，以生成用于提供所述流体的实际质量流速的表示的指示流量；

将所述指示流量提供给所述质量流量控制器的操作员；

对所述测量流量信号进行采样，并且基于所述测量流量信号的样本来确定所述流体的质量流速的变化率；以及

进行用于基于所述质量流速的变化率来调整与所述滤波相关地使用的时间常数的调整操作，

其中，所述调整操作包括以下步骤：

增大所述时间常数，直到达到最大时间常数为止或直到所述质量流速的变化率超过阈值为止。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，还包括以下步骤：在设置点改变为新设置点的情况下，进行以下操作：

减小所述时间常数；

启动计时器，以追踪自所述时间常数减小起所经过的时间；以及

将所述时间常数维持在减小后的水平，直到所经过的时间达到时间阈值为止、或者直到测量流速在所述新设置点是增大后的设置点的情况下超过该增大后的设置点或测量流速在所述新设置点是减小后的设置点的情况下降至该减小后的设置点以下为止。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，还包括以下步骤：

将所述时间常数维持在所述减小后的水平，直到以下情况为止：

在所述新设置点是增大后的设置点的情况下，测量流速先超过该增大后的设置点，然后再降至该增大后的设置点以下；或者

在所述新设置点是减小后的设置点的情况下，测量流速先降至该减小后的设置点以下，然后再超过该减小后的设置点。

4.一种用于从质量流量控制器提供指示流量的方法，所述方法包括以下步骤：

获得表示所述质量流量控制器所控制的流体的质量流速的测量流量信号；

对所述测量流量信号进行滤波，以生成用于提供所述流体的实际质量流速的表示的指示流量；

将所述指示流量提供给所述质量流量控制器的操作员；

对所述测量流量信号进行采样，并且基于所述测量流量信号的样本来确定所述流体的质量流速的变化率；

基于所述质量流速的变化率来调整与所述滤波相关地使用的时间常数；以及

在设置点改变为新设置点的情况下，进行以下操作：

将所述指示流量的最后值作为参考点保留在存储器中，其中所述指示流量的最后值是作为所述指示流量所提供的质量流速；

在测量流速没有达到所述新设置点的情况下，进行包括以下操作的平滑操作：

在测量流速小于所述参考点的情况下，向所述操作员提供所述参考点作为所述指示流量；以及

在测量流速不小于所述参考点的情况下，将所述参考点设置为测量流速，并且向所述操作员提供所述参考点作为所述指示流量。

5.一种质量流量控制器，包括：

质量流量传感器，用于提供表示流体的质量流速的测量流量信号；

处理器，用于接收所述测量流量信号并且提供指示流量输出；以及

非瞬态有形处理器可读存储介质，其连接至所述处理器，并且编码有处理器可读指令，其中所述处理器可读指令用于对所述测量流量信号进行滤波以提供所述指示流量输出，所述处理器可读指令包括以下指令：

用于基于所述测量流量信号来确定所述流体的质量流速的变化率的指令；以及

用于基于所述质量流速的变化率来调整与所述滤波相关地使用的时间常数的调整指令，

其中，所述调整指令包括用于进行以下操作的指令：增大所述时间常数，直到达到最大时间常数为止或直到所述质量流速的变化率超过阈值为止。

6.根据权利要求5所述的质量流量控制器，其中，所述非瞬态有形处理器可读存储介质编码有包括用于在设置点改变为新设置点的情况下进行以下操作的指令的处理器可读指令：

减小所述时间常数；

启动计时器，以追踪自所述时间常数减小起所经过的时间；以及

将所述时间常数维持在减小后的水平，直到所经过的时间达到时间阈值为止、或者直到测量流速在所述新设置点是增大后的设置点的情况下超过该增大后的设置点或测量流速在所述新设置点是减小后的设置点的情况下降至该减小后的设置点以下为止。