[实用新型]一种掩膜板有效
| 申请号: | 201420866128.1 | 申请日: | 2014-12-31 |
| 公开(公告)号: | CN204401095U | 公开(公告)日: | 2015-06-17 |
| 发明(设计)人: | 魏云燕;熊志勇;钱栋 | 申请(专利权)人: | 上海天马有机发光显示技术有限公司;天马微电子股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司: | 无 | 代理人: | 无 |
| 地址: | 201201 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 掩膜板 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种掩膜板。
背景技术
OLED,即有机发光二极管,在OLED器件制作过程中,需要使用金属掩膜板来达到对玻璃基板上发光像素部分区域蒸镀有机材料的目的。随着OLED技术的发展,OLED产品尺寸及玻璃基板尺寸都在不断增加,这就要求蒸镀金属掩膜板的尺寸要不断增大,为了保证精细金属掩膜板的制作精度,蒸镀所使用的掩膜板大多采用条状子掩膜板形式。
具体地,如图1所示,掩膜板包括多个条状子掩膜板101、支撑子掩膜板102、侧边子掩膜板103、外框105,具体地,条状子掩膜板101并列排列在支撑子掩膜板102上,且条状子掩膜板101的两侧设置侧边子掩膜板103,支撑子掩膜板102及侧边子掩膜板103来遮挡不需要蒸镀有机材料的区域,然后通过张网将支撑子掩膜板102焊接在外框105上,从而制成精细金属掩膜板。并且,在条状子掩膜板101上形成有多个开口104,对应显示区,该开口呈矩形状,且开口的长边104a垂直于条状子掩膜板的排列方向,短边104b平行于条状子掩膜板的排列方向。对于条状子掩膜板101的制作来说,如图2所示,开口图案的长边104a到条状子掩膜板104的边缘距离(定义为D值)存在一个极限值,假设这个极限值为D0(其中,该D值与掩膜板的制作能力有关),在张网工艺中,如图3所示,两个相邻条状子掩膜板104之间会有一定的缝隙E值限制,假设这个最小值为E0(E值与张网机台能力有关),因此,(2D+E)即为相邻两条状子掩膜板的显示区之间的距离, 如图4所示,当显示面板106需要达到窄边框需求时,面板106的左右边框距(a值)就要减小;由此引起的问题:
(1)D值不变,减小E值,如果E<E0,就会存在张网时条状子掩膜板边缘断裂的风险;
(2)E值不变,减小D值,如果D<D0,就会存在掩膜板制作不良的风险;
(3)D值和E值都减小,其极限值分别是D0和E0,如果窄边框设计左右Border值之和2a<2D0+E0,那么现有技术下的条状子掩膜板设计就无法满足要求。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型提供了一种掩膜板,包含:一镂空的外框、支撑子掩膜板、多个条状子掩膜板;其中,所述支撑子掩膜板固定在所述外框上,所述多个条状子掩膜板沿其短轴方向并列排布在所述支撑子掩膜板上,其中,所述各条状子掩膜板沿其长轴方向设置有多个开口,所述开口的长轴与所述条状子掩膜板的排列方向平行。
在本实用新型中,所述外框、支撑子掩膜板和条状子掩膜板均呈矩形,其中,所述条状子掩膜板的开口呈矩形,且所述条状子掩膜板开口的长边平行于所述条状子掩膜板的排列方向、短边垂直于所述条状子掩膜板的排列方向。
在本实用新型中,所述掩膜板还包含侧边子掩膜板,所述侧边子掩膜板固定在所述支撑子掩膜板且位于所述条状子掩膜板的两侧。
在本实用新型中,所述外框、支撑子掩膜板、条状子掩膜板和侧边子掩膜板的材料均为金属。
在本实用新型中,所述支撑子掩膜板焊接在所述外框上。
综上,采用本实用新型的掩膜板结构,可实现制作窄边框显示面板的设计和制作需求。
附图说明
图1为现有技术的掩膜板结构示意图;
图2、图3为图1中条状子掩膜板的结构示意图;
图4为显示面板的平面图;
图5为本实用新型实施例的掩膜板结构示意图;
图6为图5中条状子掩膜板的结构示意图;
图7为显示面板的平面图。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型,而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部内容。
图式中相同的号码代表相同或相似的组件。另一方面,众所周知的组件与步骤并未描述于实施例中,以避免对本实用新型造成不必要的限制。
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