[实用新型]一种掩膜板有效
| 申请号： | 201420866128.1 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN204401095U | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 魏云燕;熊志勇;钱栋 | 申请（专利权）人： | 上海天马有机发光显示技术有限公司;天马微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 201201 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 | ||
【权利要求书】：
1.一种掩膜板，其特征在于，包含：一镂空的外框、支撑子掩膜板、多个条状子掩膜板；其中，所述支撑子掩膜板固定在所述外框上，所述多个条状子掩膜板沿其短轴方向并列排布在所述支撑子掩膜板上，
其中，所述各条状子掩膜板沿其长轴方向设置有多个开口，所述开口的长轴与所述条状子掩膜板的排列方向平行。
2.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于：所述外框、支撑子掩膜板和条状子掩膜板均呈矩形，其中，所述条状子掩膜板的开口呈矩形，且所述条状子掩膜板开口的长边平行于所述条状子掩膜板的排列方向、短边垂直于所述条状子掩膜板的排列方向。
3.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于：所述掩膜板还包含侧边子掩膜板，所述侧边子掩膜板固定在所述支撑子掩膜板且位于所述条状子掩膜板的两侧。
4.如权利要求3所述的掩膜板，其特征在于：所述外框、支撑子掩膜板、条状子掩膜板和侧边子掩膜板的材料均为金属。
5.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于：所述支撑子掩膜板焊接在所述外框上。
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