[实用新型]一种晶圆切割装置

权利要求书

1.一种晶圆切割装置，其特征在于，由底座，晶圆放置台，可伸缩平移装置，U型升降装置，对位装置，切割工具构成，所述晶圆放置台设置在底座上，所述U型升降装置由横梁，两侧的升降部和支撑部组成，所述横梁的两端固定在两侧升降部的顶端，所述切割工具固定于U型升降装置的横梁的中间，且位于晶圆放置台的正上方，所述可伸缩平移装置固定在U型升降装置一侧的升降部上，且可伸缩平移装置与切割工具之间存在一定的间隙，所述可伸缩平移装置的端部安装一对位装置，所述底座固定在U型升降装置两侧的支撑部上。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割装置，其特征在于，所述可伸缩平移装置与切割工具之间的间隙为2-4mm。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆切割装置，其特征在于，所述切割工具由电机和钻头构成，所述钻头固定连接于电机的输出轴。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆切割装置，其特征在于，所述钻头为金刚石钻头。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆切割装置，其特征在于，所述U型升降装置上设升降按钮。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆切割装置，其特征在于，所述可伸缩平移装置上设平移按钮。