[实用新型]一种显微式厚膜电路曝光对膜装置

权利要求书

1.一种显微式厚膜电路曝光对膜装置，其特征在于：设置有工作台、两套以上的显微成像装置、与每套显微成像装置对应设置的位置调节装置、显示装置和真空抽吸装置；

所述工作台设置有工作区，所述真空抽吸装置与工作区连通，所述显微成像装置位于所述工作区上方，所述显示装置与所述显微成像装置电连接。

2.根据权利要求1所述的显微式厚膜电路曝光对膜装置，其特征在于：所述显微成像装置设置为电子摄像机或者CCD摄像机，所述显微成像装置的镜头位于所述工作台上方。

3.根据权利要求1或2所述的显微式厚膜电路曝光对膜装置，其特征在于：每套位置调节装置设置有Z向固定杆、X向固定杆、Y向固定杆、第一联接调节座和第二联接调节座；

所述Z向固定杆固定于所述工作台，Z向固定杆垂直于工作台所在的平面，X向固定杆与工作台所在的平面平行且X向固定杆垂直于Z向固定杆，Y向固定杆与工作台所在的平面平行且Y向固定杆垂直于X向固定杆，所述Z向固定杆和所述X向固定杆的一端分别装配于所述第一联接调节座，所述X向固定杆和所述Y向固定杆分别装配于所述第二联接调节座，所述显微成像装置固定于所述Y向固定杆。

4.根据权利要求3所述的显微式厚膜电路曝光对膜装置，其特征在于：所述第一联接调节座设置有Z向套环、Z向旋钮和X向装配环；

所述Z向套环套于所述Z向固定杆，所述X向装配环套于所述X向固定杆的一端，所述X向装配环与所述Z向套环固定连接；

所述Z向套环由两块Z向半环构成，两块Z向半环的一端固定连接，两块Z向半环的另一端通过锁紧螺钉锁紧，所述Z向套环设置有与所述Z向旋钮相匹配的Z向螺纹孔，所述Z向螺纹孔穿透于所述Z向套环的内壁面和外壁面。

5.根据权利要求4所述的显微式厚膜电路曝光对膜装置，其特征在于：所述第二联接调节座设置有X向套环、X向旋钮、Y向套环和Y向旋钮；

所述X向套环和所述Y向套环固定连接，所述X向套环套设于所述X向固定杆，所述Y向套环套设于所述Y向固定杆；

所述X向套环由两块X向半环构成，两块X向半环的一端固定连接，两块X向半环的另一端通过锁紧螺钉锁紧，所述X向套环设置有与所述X向旋钮相匹配的X向螺纹孔，所述X向螺纹孔穿透于所述X向套环的内壁面和外壁面；

所述Y向套环由两块Y向半环构成，两块Y向半环的一端固定连接，两块Y向半环的另一端通过锁紧螺钉锁紧，所述Y向套环设置有与所述Y向旋钮相匹配的Y向螺纹孔，所述Y向螺纹孔穿透于所述Y向套环的内壁面和外壁面。

6.根据权利要求3所述的显微式厚膜电路曝光对膜装置，其特征在于：所述Y向固定杆的端部设置有固定环，所述显微成像装置通过固定环固定装配于所述Y向固定杆。

7.根据权利要求1所述的显微式厚膜电路曝光对膜装置，其特征在于：设置有两套显微成像装置。

8.根据权利要求1所述的显微式厚膜电路曝光对膜装置，其特征在于：所述显示装置设置为显示器。