[实用新型]一种用于调节硅片制绒槽内减薄量均匀性的系统

权利要求书

1.一种用于调节硅片制绒槽内减薄量均匀性的系统，包括制绒槽，所述制绒槽内设有反应道，所述反应道内由上往下依次设有位于制绒槽内药液液位下方的压轮与滚轮，硅片在滚轮和压轮之间移动并进行制绒；还包括一储液槽，所述储液槽通过一输液管将储液槽内的药液输送到所述制绒槽内，位于所述制绒槽内的输液管上设有若干第一喷孔，所述制绒槽通过溢流管以及回流管将所述制绒槽内的药液输送到储液槽内，所述储液槽内的药液通过热交换毛细管与一冰机形成热交换，其特征在于：所述反应道至少有三个，位于制绒槽两端的反应道之间的其他每条反应道上各设有一喷淋装置。

2.根据权利要求1所述的用于调节硅片制绒槽内减薄量均匀性的系统，其特征在于：所述喷淋装置包括与所述储液槽相连通的喷淋管道，位于反应道上方的喷淋管道上设有若干第二喷孔，所述第二喷孔位于所述制绒槽内的药液液位上方。

3.根据权利要求2所述的用于调节硅片制绒槽内减薄量均匀性的系统，其特征在于：所述喷淋管道上还设有第一调节阀。

4.根据权利要求2所述的用于调节硅片制绒槽内减薄量均匀性的系统，其特征在于：所述喷淋管道通过第一泵浦与所述储液槽相连接。

5.根据权利要求1-4任一所述的用于调节硅片制绒槽内减薄量均匀性的系统，其特征在于：所述输液管上设有第二泵浦。

6.根据权利要求1-4任一所述的用于调节硅片制绒槽内减薄量均匀性的系统，其特征在于：所述输液管上的若干第一喷孔位于所述滚轮下方。

7.根据权利要求1-4任一所述的用于调节硅片制绒槽内减薄量均匀性的系统，其特征在于：所述热交换毛细管位于所述储液槽内的药液液位下方。

8.根据权利要求1-4任一所述的用于调节硅片制绒槽内减薄量均匀性的系统，其特征在于：所述输液管上进一步设有第二调节阀。