[实用新型]一种研磨装置有效
| 申请号： | 201420748030.6 | 申请日： | 2014-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN204248570U | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 肖宇;吴洪江;黎敏;姜晶晶;李晓光 | 申请（专利权）人： | 北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B3/24 | 分类号： | B24B3/24;B24B3/00;B24B51/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 装置 | ||
1.一种研磨装置，用于研磨基板表面的凸起，其特征在于，包括本体、CCD传感器和研磨头，其中：
所述CCD传感器连接到所述本体，用于测量在所述研磨头下方的所述基板表面的凸起的高度；
所述研磨头连接到所述本体，根据所述CCD传感器的测量结果对所述凸起进行研磨。
2.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，还包括吸风管，所述吸风管的下端口用于吸入研磨产生的碎屑。
3.如权利要求2所述的研磨装置，其特征在于，所述吸风管的下端部向靠近所述研磨头的方向倾斜。
4.如权利要求2所述的研磨装置，其特征在于，所述吸风管为多个，所述多个吸风管的下端口布置在所述研磨头周围。
5.如权利要求2所述的研磨装置，其特征在于，所述吸风管为环绕所述研磨头的环状管。
6.如权利要求2所述的研磨装置，其特征在于，还包括吸风机，所述吸风机与所述吸风管的上端连接。
7.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，还包括与所述本体连接的光源，用于照射在所述研磨头下方的所述基板表面的凸起。
8.如权利要求7所述的研磨装置，其特征在于，所述光源为白光光源。
9.如权利要求8所述的研磨装置，其特征在于，所述光源的发光器件为发光二极管。
10.如权利要求7所述的研磨装置，其特征在于，所述光源与所述CCD传感器在所述本体两侧相对设置。
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