[实用新型]一种含铜离子蚀刻液循环回收处理装置

权利要求书

1.一种含铜离子蚀刻液循环回收处理装置，其特征在于，包括：

密封的电解槽，该电解槽内设有复合隔膜，该复合隔膜将电解槽分为阴极室和阳极室，该电解槽与生产线蚀刻缸相连通；

氯气储存器，用于储存氯气，该氯气储存器通过导管与阳极室的底部相连；

氯气发生装置，用于产生氯气，该氯气发生装置与氯气储存器相连，且二者之间设置一通断阀门；及

循环管道，该循环管道上端连接电解槽的顶部，下端连接氯气储存器。

2.如权利要求1所述的含铜离子蚀刻液循环回收处理装置，其特征在于，所述循环管道上设有允许气体由上往下流动的单通阀。

3.如权利要求1所述的含铜离子蚀刻液循环回收处理装置，其特征在于，所述循环管道上设有将电解槽内气体往阳极室底部泵入的气泵。

4.如权利要求1所述的含铜离子蚀刻液循环回收处理装置，其特征在于，所述阳极室的底部设有与所述导管连接的气泡盘或气泡石。

5.如权利要求1所述的含铜离子蚀刻液循环回收处理装置，其特征在于，所述电解槽的顶部设有抽真空装置。