[实用新型]一种半导体Fab生产线工艺监控系统

说明书

技术领域

本实用新型属于Fab设备实时监控技术领域，特别涉及一种半导体Fab生产线工艺监控系统。

背景技术

目前，在进行芯片制造时，为了提高最终生产的芯片的良品率，就需要提高每个芯片制造工艺的良品率。如果在芯片制造的过程中，任何一个芯片制备工艺产生问题，就会导致最终生产的芯片的良品率大大降低，从而使芯片制备成本提高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对上述缺陷，提出一种半导体Fab生产线工艺监控系统。

为实现上述技术目的，本实用新型采用如下技术方案予以实现。

一种半导体Fab生产线工艺监控系统包括：数据库服务器、以太网交换机、以及第1个Fab设备监控子系统至第N个Fab监控子系统，N为大于1的自然数；所述以太网交换机的输入端分别电连接第1个Fab设备监控子系统至第N个Fab监控子系统，所述以太网交换机的输出端电连接数据库服务器；

所述每个Fab设备监控子系统包括视频采集服务器、POE交换机、以及多个网络摄像机；每个网络摄像机设置在Fab设备上，每个网络摄像机用于采集晶圆/芯片图像，所述POE交换机用于向每个网络摄像机进行供电，所述POE交换机的信号输入端电连接每个网络摄像机的信号输出端，所述POE交换机与视频采集服务器形成双向通讯连接，所述视频采集服务器的信号输出端电连接所述以太网交换机。

本实用新型的特点和进一步改进在于：

所述每个Fab设备监控子系统还包括VGA分屏器、用于将VGA信号转换为数字视频信号的VGA/数字视频信号转换器、以及用于将数字视频信号转换为网线传输信号的数字视频信号/RJ45信号转换器；所述VGA分屏器具有一个信号输入端和两个信号输出端，所述VGA分屏器的信号输入端电连接Fab设备的VGA输出端口，所述VGA分屏器的任一个信号输出端电连接VGA/数字视频信号转换器的信号输入端，所述VGA/数字视频信号转换器的信号输出端电连接所述数字视频信号/RJ45信号转换器的信号输入端，所述数字视频信号/RJ45信号转换器的信号输出端电连接所述POE交换机的信号输入端。

所述每个Fab设备监控子系统还包括用于接收Fab设备报警信号的信号塔，所述信号塔设置在对应的Fab设备上；所述信号塔的信号输出端电连接对应的POE交换机的信号输入端。

所述一种半导体Fab生产线工艺监控系统，其特征在于，还包括上位机，所述上位机与数据库服务器形成双向通讯连接。

本实用新型的有益效果为：

1)能够全高清和灵活地显示芯片制备的相关视频，满足半导体生产的专业化工艺需求。

2)可以实时显示芯片工艺生成中实际芯片的走动及预警等状态信息，并记录在数据库服务器中，从而便于查询。

附图说明

图1为本实用新型的一种半导体Fab生产线工艺监控系统的总体结构示意图；

图2为本实用新型的Fab设备监控子系统的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

参照图1，为本实用新型的一种半导体Fab生产线工艺监控系统的总体结构示意图，参照图2，为本实用新型的Fab设备监控子系统的结构示意图。本实用新型实施例中，一种半导体Fab生产线工艺监控系统包括第1个Fab设备监控子系统至第N个Fab监控子系统，N为大于1的自然数，每个Fab设备监控子系统用于对一个Fab设备进行视频监控，Fab设备可以为晶圆生产过程中实用的工艺设备，例如，Fab设备为蚀刻工艺设备、CVD(化学气相淀积)设备等。本实用新型实施例中，每个Fab设备上设置有用于接收报警信号的信号塔，当信号塔接收到报警信号时，说明晶圆生产工艺出现问题，需要停止该Fab设备的运行，此时，信号塔会向外发出报警信号(声光报警信号)，从而便于工作人员及时查明Fab设备的故障原因。

本实用新型实施例中，还设置有以太网交换机和数据库(DB)服务器，以太网交换机的输入端分别电连接第1个Fab设备监控子系统至第N个Fab监控子系统(以太网交换机通过RJ45接口和网线电连接每个Fab设备监控子系统)，以太网交换机的输出端电连接数据库服务器(以太网交换机通过RJ45接口和网线电连接数据库服务器)。这样，每个Fab设备监控子系统得到的视频监控图像会通过以太网交换机发送至数据库服务器(视频监控图像为能够通过网线传输的格式)，再将数据库服务器与上位机连接，此时，就可以通过上位机实时读取数据服务器中的视频图像，从而对Fab设备中晶圆的运行状态进行查看。