[实用新型]一种半导体Fab生产线工艺监控系统有效
| 申请号： | 201420720838.3 | 申请日： | 2014-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN204206349U | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 赵叶;吕沛微;杜鼎立 | 申请（专利权）人： | 西安寰微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H04N7/18 | 分类号： | H04N7/18 |
| 代理公司： | 西安睿通知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 61218 | 代理人： | 惠文轩 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市西安市高*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 fab 生产线 工艺 监控 系统 | ||
1.一种半导体Fab生产线工艺监控系统，其特征在于，包括：数据库服务器、以太网交换机、以及第1个Fab设备监控子系统至第N个Fab监控子系统，N为大于1的自然数；所述以太网交换机的输入端分别电连接第1个Fab设备监控子系统至第N个Fab监控子系统，所述以太网交换机的输出端电连接数据库服务器；
所述每个Fab设备监控子系统包括视频采集服务器、POE交换机、以及多个网络摄像机；每个网络摄像机设置在Fab设备上，每个网络摄像机用于采集晶圆/芯片图像，所述POE交换机用于向每个网络摄像机进行供电，所述POE交换机的信号输入端电连接每个网络摄像机的信号输出端，所述POE交换机与视频采集服务器形成双向通讯连接，所述视频采集服务器的信号输出端电连接所述以太网交换机。
2.如权利要求1所述的一种半导体Fab生产线工艺监控系统，其特征在于，所述每个Fab设备监控子系统还包括VGA分屏器、用于将VGA信号转换为数字视频信号的VGA/数字视频信号转换器、以及用于将数字视频信号转换为网线传输信号的数字视频信号/RJ45信号转换器；所述VGA分屏器具有一个信号输入端和两个信号输出端，所述VGA分屏器的信号输入端电连接Fab设备的VGA输出端口，所述VGA分屏器的任一个信号输出端电连接VGA/数字视频信号转换器的信号输入端，所述VGA/数字视频信号转换器的信号输出端电连接所述数字视频信号/RJ45信号转换器的信号输入端，所述数字视频信号/RJ45信号转换器的信号输出端电连接所述POE交换机的信号输入端。
3.如权利要求1所述的一种半导体Fab生产线工艺监控系统，其特征在于，所述每个Fab设备监控子系统还包括用于接收Fab设备报警信号的信号塔，所述信号塔设置在对应的Fab设备上；所述信号塔的信号输出端电连接对应的POE交换机的信号输入端。
4.如权利要求1所述的一种半导体Fab生产线工艺监控系统，其特征在于，还包括上位机，所述上位机与数据库服务器形成双向通讯连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安寰微电子科技有限公司，未经西安寰微电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420720838.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
