[实用新型]超薄型滤光片镀膜装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及用于通讯领域的滤光片，特别涉及一种超薄型的滤光片镀膜的装置。

背景技术

光通信是指以光作为信息载体而实现的通信方式，按传输介质的不同可分为大气激光通信和光纤通信两种。光通信具有通信容量大、传输距离长、抗电磁干扰、传输质量佳、信号串扰小、保密性好等优点，是未来传输网络发展的最终目标，具有非常广阔的市场前景。在光通信产品的双向收发器模块中，通过选定波长的雷射讯号，而反射不需要的波段通常采用滤光片(edge filters)实现，可以说滤光片在光通信产品中起着致关重要的作用。带通滤光片是一种可从复合光中分离出某一波段单色光的光学器件，带通滤光片是通过在透光基片上镀电介质金属膜制成的，其利用电介质金属膜的干涉作用来从入射光中选取特定波段的光使其通过。滤光片上带通的宽度由滤光片上电介质金属膜的厚度决定，因此为了保证滤光片的质量，必须要保证滤光片上的厚度一致。

在滤光片的使用过程中，真正起作用的实际上是金属膜，透光基片只起到支撑镀膜的作用。随着通信设备逐渐向小型化方向发展，对滤光片厚度的要求越来越高，为了能够减小滤光片的厚度，人们普遍的想法就是减小透光基片的厚度，这样做虽然在一定程度上可以减小滤光片的厚度，但仍不能满足很多光电通讯设备的要求，最好的办法是将透光基片去除，但目前的工艺很难实现。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的实施例提供了一种不使用透光基片的超薄型滤光片的镀膜装置。

为达到上述目的，本实用新型的实施例公开了一种超薄型滤光的镀膜装置，其包括镀膜腔，所述镀膜腔内设有蒸镀源，所述蒸镀源上设有一外套筒，所述外套筒套设在所述蒸镀源上，所述外套筒的顶部设有一个一端开口的插槽，所述插槽内设有一可抽拉的弹性膜支架。

进一步地，所述外套筒内设有一内套筒，所述外套筒与所述内套筒同轴设置，所述内套筒位于所述弹性膜支撑架下方，所述外套筒与所述内套筒之间通过数个均匀分布的紊流片连接，所述紊流片具有一定扭曲角度。

进一步地，所述外套筒的两端大、中间小。

进一步地，所述紊流片的扭曲角度为13-17°。

进一步地，所述紊流片的外表面设有导流槽。

该超薄型滤光片的镀膜装置在外套筒的顶部设置一端开口的插槽，弹性膜支架可抽拉的插在该插槽内，这样可非常方便的将弹性膜及水洗膜插入到外套筒内进行镀膜，镀膜完成后可非常方便的将支架抽出进行水洗、剥离，而且能有效保证滤光片厚度的一致性，可有效提高滤光片的质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例镀膜装置的结构示意图。

图2为本实用新型实施例外套筒的俯视图。

图3为本实用新型实施例弹性膜支架的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型实施例进行详细描述。在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语″中心″、″上″、″下″、″前″、″后″、″左″、″右″、″竖直″、″水平″、″顶″、″底″、″内″、″外″等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

术语″第一″、″第二″仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有″第一″、″第二″的特征可以明示或者隐含地包括—个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，″多个″的含义是两个或两个以上。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语″安装″、″相连″、″连接″应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。