[实用新型]超薄型滤光片镀膜装置有效
| 申请号： | 201420720449.0 | 申请日： | 2014-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN204228991U | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 王喜昌 | 申请（专利权）人： | 苏州鼎旺科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215129 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超薄型 滤光 镀膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种超薄型滤光片镀膜装置，包括镀膜腔，所述镀膜腔内设有蒸镀源，其特征在于：所述蒸镀源上设有一外套筒，所述外套筒套设在所述蒸镀源上，所述外套筒的顶部设有一个一端开口的插槽，所述插槽内设有一可抽拉的弹性膜支架。
2.根据权利要求1所述的超薄型滤光片镀膜装置，其特征在于：所述外套筒内设有一内套筒，所述外套筒与所述内套筒同轴设置，所述内套筒位于所述弹性膜支撑架下方，所述外套筒与所述内套筒之间通过数个均匀分布的紊流片连接，所述紊流片具有一定扭曲角度。
3.根据权利要求1所述的超薄型滤光片镀膜装置，其特征在于：所述外套筒的两端大、中间小。
4.根据权利要求2所述的超薄型滤光片镀膜装置，其特征在于：所述紊流片的扭曲角度为13-17°。
5.根据权利要求2所述的超薄型滤光片镀膜装置，其特征在于：所述紊流片的外表面设有导流槽。
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