[实用新型]一种硅片清洗槽有效

专利信息
申请号: 201420703272.3 申请日: 2014-11-21
公开(公告)号: CN204289404U 公开(公告)日: 2015-04-22
发明(设计)人: 刘彬国;何京辉;李立伟;张立涛;张稳 申请(专利权)人: 邢台晶龙电子材料有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B08B3/12
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 米文智
地址: 054001 河北省*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 清洗
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及硅片清洗技术领域。

背景技术

太阳能是最大的无污染的可再生资源,取之不尽、用之不竭,是今后人类能源利用的重点之一。自上世纪末以来, 随着全世界对能源消耗的剧增,传统能源枯竭的威胁,以及多晶硅、 单晶硅发电技术的发展,太阳能光伏产业方兴未艾。

随着太阳能级单晶硅片的发展,客户对硅片质量的要求越来越严苛,硅片表面洁净度直接影响着硅片的转换效率,所以客户对硅片表面质量要求越发的严格。此外随着切割工艺的调整,切割中使用的砂浆不断的回收使用,造成砂浆在硅片表面附着较强,清洗较为困难,导致氧化片频繁产生,就此情况特对目前的清洗设备进行完善和提高。

为解决上述问题,现在在硅片进入清洗线之前添加了一个硅片清洗槽,提前对硅片进行清洗。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片清洗槽,该装置利用超声波震动对硅片表面的杂质进行清洗,可有效清除硅片表面附着的砂浆等物质,操作简单快捷。

为解决上述问题本实用新型采取的技术方案是:一种硅片清洗槽,所述清洗槽为长方体形状,在清洗槽的上部设有进水口和溢流口,所述溢流口的高度低于进水口的高度,所述清洗槽的槽底板为可震动的钢板,所述钢板的外侧底面上连接有超声波换能器。

优选的,所述清洗槽的槽底还设有排水口。

优选的,所述清洗槽的槽宽1.2米,长1.8米,槽内深度为20厘米,优选的,所述溢流口距离槽顶口的距离为2厘米。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于:硅片清洗线在清洗硅片的时候不够直观,不能够对硅片的清洗情况进行观察,而且清洗效果不是很理想,所以在硅片进入到清洗线之前,添加了一个清洗槽,清洗槽内装满水,并且为流动的水,可通过进水口和溢流口不断的进行进水和出水,使清洗槽内的水循环起来,硅片放在塑料花篮中,然后手持塑料花篮将其放到清洗槽的槽底板上,开启与槽底相连接的超声波转换器,产生超声波,槽内的水在钢板的震动下随之震动,超声波清洗可有效去除硅片表面的砂浆等杂质,并且可通过人眼直接对清洗情况进行观测,较直观,所以本装置清洗效果好,操作简单方便,十分实用。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明:

图1 本实用新型的结构示意图。

其中,1、清洗槽,2、进水口,3、溢流口,4、钢板,5、超声波换能器,6、排水口。

具体实施方式

如图1所示:一种硅片清洗槽,清洗槽1为长方体形状,在清洗槽1的上部设有进水口2和溢流口3,所述溢流口3的高度低于进水口2的高度,所述清洗槽1的槽底板为可震动的钢板4,所述钢板4的外侧底面上连接有超声波换能器5。所述清洗槽1的槽底还设有排水口6。所述清洗槽1的槽宽1.2米,长1.8米,槽内深度为20厘米,所述溢流口3距离槽顶口的距离为2厘米。

该清洗装置首先利用的是超声波进行清洗,利用超声波换能器5产生超声波,通过钢板4使槽内的水共振,对置于塑料花篮且浸泡在水中的硅片表面进行清洗,清洗效果显著。

硅片清洗线在清洗硅片的时候不够直观,不能够对硅片的清洗情况进行观察,而且清洗效果不是很理想,所以在硅片进入到清洗线之前,添加了一个清洗槽1,清洗槽1内装满水,并且为流动的水,可通过进水口2和溢流口3不断的进行进水和出水,使清洗槽1内的水循环起来,硅片放在塑料花篮中,然后手持塑料花篮将其放到清洗槽1的槽底板上,开启与槽底相连接的超声波转换器5,产生超声波,槽内的水在钢板4的震动下随之震动,超声波清洗可有效去除硅片表面的砂浆等杂质,并且可通过人眼直接对清洗情况进行观测,较直观,所以本装置清洗效果好,操作简单方便,十分实用。

综上所述:该装置利用超声波震动对硅片表面的杂质进行清洗,可有效清除硅片表面附着的砂浆等物质,操作简单快捷。

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