[实用新型]智能真空器件在线监测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种可在线监测真空器件腔体内部真空度变化的智能真空器件在线监测装置，可用于所有真空器件的在线监测。

背景技术

真空器件是以真空作为工作介质，故低内部气体压强(高真空度)是所有真空器件得以正常工作的基础。当真空器件漏气或材料放气导致其内部的气体压强高于使用上限时，真空器件将会失效，无法正常工作，尤其在电力行业，严重者会给电网带来危害，造成大量财产损失，甚至人员伤亡。

目前，市场上现有的真空器件在线运行时，如果需要检测该真空器件产品内部的真空度变化，通常只能停机后进行脱机检测，因此大大提高了运营与维护成本。

为满足用户对真空器件实时检测的要求，国内外对此已进行了多年研究，譬如采用电离法、耦合电容法、放电发声法等，但这些方法目前仍处于研究或初步应用阶段，且均为采集电信号用于分析判断，仅可用于特殊结构的真空器件，同时这些测量方法无法回避的一个问题是：如何避免产品自身产生的电磁场对测量精度的干扰，以达到高准确度。

发明内容

为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种智能真空器件在线监测装置，能够对真空器件产品内部真空度进行实时监控。

本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种智能真空器件在线监测装置，包括设于真空密封腔体上并且一端与该真空密封腔体内部连通的连接管，以及与该连接管另一端连通的波纹管，该波纹管远离该连接管的另一端上固定一光感应装置，另设有光发射装置和光接收装置，该光发射装置发射光信号连续监测该光感应装置的位置并将其传输给光接收装置，该光接收装置将接收的光信号通过光缆传输给中央处理器。

作为本实用新型的进一步改进，所述光感应装置为光栅。

作为本实用新型的进一步改进，所述光发射装置和光接收装置分别设置于该光栅的相对两侧。

作为本实用新型的进一步改进，所述连接管为金属管。

作为本实用新型的进一步改进，还设有指示器，所述真空密封腔体内的真空度降低至使用下限时，该指示器发出报警信号。

本实用新型的有益效果是：该智能真空器件在线监测装置通过光信号持续监控真空器件的真空度变化，当检测到器件内真空度降至使用下限时，指示器会发出警告，即产品失效前及时发出警告，提醒工作人员采取措施，避免事故发生。不仅减免了对真空器件的脱机检验，降低了运营和维护成本；而且增加了产品的可靠性，减少了对员工、客户和资产伤害的风险；并可实现远程监控，对智能化产品的发展起到推动作用。

附图说明

图1为本实用新型剖面结构示意图。

结合附图，作以下说明：

1——真空腔体              2——连接管

3——波纹管                4——光感应装置

5——光发射装置            6——光接收装置

具体实施方式

结合附图，对本实用新型作详细说明，但本实用新型的保护范围不限于下述实施例，即但凡以本实用新型申请专利范围及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本实用新型专利涵盖范围之内。

一种智能真空器件在线监测装置，如图1所示，包括设于真空密封腔体1上并且一端与该真空密封腔体内部连通的连接管2，以及与该连接管另一端连通的波纹管3，该波纹管远离该连接管的另一端上固定一光感应装置4，另设有光发射装置5和光接收装置6，该光发射装置发射光信号连续监测该光感应装置的位置并将其传输给光接收装置，该光接收装置将接收的光信号通过光缆传输给中央处理器。其中，连接管优选用金属管，光感应装置优选用光栅。

该智能真空器件在线监测装置在工作时，如果真空腔体漏气导致其内部真空度下降，波纹管由于通过连接管和真空腔体内部导通，即二者压强一致，因此波纹管将随真空腔体的漏气产生伸展变化，而光感应装置即光栅固定于该波纹管上，因此光栅将会随着波纹管的伸展而发生位移，光接收装置检测变化 的光信号，并通过光缆传输给中央处理器，如果真空度降低至使用下限，光栅就会阻断光信号的路径，另可设有指示器进行报警，这样操作人员可以及时了解真空腔体的泄露问题，并且可以通过联锁机构停止相关的电气操作。

因此，该在线监测装置可以便于及时了解真空腔体内部气压情况，即产品失效前及时发出警告，提醒工作人员采取措施，避免事故发生。不仅减免了对真空器件的脱机检验，降低了运营和维护成本；而且增加了产品的可靠性，减少了对员工、客户和资产伤害的风险；并可实现远程监控，对智能化产品的发展起到推动作用。

另外，对于腔体内部充气(即正压力)有气密性要求的密封腔体，同样可以通过该在线监测装置的结构方式及通过光信号持续监控密封腔体器件内部的压强变化来实现实时检测。