[实用新型]智能真空器件在线监测装置有效
| 申请号： | 201420667152.2 | 申请日： | 2014-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN204188331U | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 张立云;胡斌 | 申请（专利权）人： | 昆山国力真空电器有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德;张文婷 |
| 地址： | 215301 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 智能 真空 器件 在线 监测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种智能真空器件在线监测装置，其特征在于：包括设于真空密封腔体(1)上并且一端与该真空密封腔体内部连通的连接管(2)，以及与该连接管另一端连通的波纹管(3)，该波纹管远离该连接管的另一端上固定一光感应装置(4)，另设有光发射装置(5)和光接收装置(6)，该光发射装置发射光信号连续监测该光感应装置的位置并将其传输给光接收装置，该光接收装置将接收的光信号通过光缆传输给中央处理器。
2.根据权利要求1所述的智能真空器件在线监测装置，其特征在于：所述光感应装置为光栅。
3.根据权利要求2所述的智能真空器件在线监测装置，其特征在于：所述光发射装置和光接收装置分别设置于该光栅的相对两侧。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的智能真空器件在线监测装置，其特征在于：所述连接管为金属管。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的智能真空器件在线监测装置，其特征在于：还设有指示器，所述真空密封腔体内的真空度降低至使用下限时，该指示器发出报警信号。
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