[实用新型]一种光伏叠放硅片取片装置有效
申请号: | 201420650904.4 | 申请日: | 2014-11-04 |
公开(公告)号: | CN204243023U | 公开(公告)日: | 2015-04-01 |
发明(设计)人: | 顾玉龙;张进;贾晓晓;辛国军;陆明涛 | 申请(专利权)人: | 江苏中宇光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/677 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 楼高潮 |
地址: | 221600 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 叠放 硅片 装置 | ||
1.一种光伏叠放硅片取片装置,包括承载底板(1)、风刀(2)和送气装置(3),其特征在于,还包括固定风刀的底座(4)和防止硅片移位的挡板,风刀(2)固定于底座上并接近承载底板(1)四角部位,风刀(2)的上端与送气装置相连通,底座(4)位于承载底板(1)两侧并与承载底板(1)固定连接。
2.根据权利要求1所述的光伏叠放硅片取片装置,其特征在于,所述风刀(2)为下端封闭上端开设有通风孔(21)的柱状体,在柱状体风刀面向硅片的一侧沿竖向均布设置有多个微小的风刀口(22),通风孔(21)与风刀口(22)相连通,风刀口(22)布置的高度略高于光伏硅片叠放高度。
3.根据权利要求1所述的光伏叠放硅片取片装置,其特征在于,所述挡板由后挡板(51)和侧挡板(52)组成,后挡板(51)和侧挡板(52)的高度超过光伏硅片叠放高度,后挡板(51)和侧挡板(52)为塑料硬塑料板,在硬塑料板面向硅片一侧粘附有弹性软硅胶层。
4.根据权利要求1所述的光伏叠放硅片取片装置,其特征在于,所述送气装置包括钢管(31)、短气管(32)、三通(33)、连接管(34)、长气管(35)和调节阀(36),钢管(31)连接风刀(2)与短气管(32),三通(33)将短气管(32)、连接管(34)和长气管(35)连接在一起并相互连通,调节输入气流的调节阀(36)连接在长气管(35)上。
5.根据权利要求4所述的光伏叠放硅片取片装置,其特征在于,所述短气管(32)、连接管(34)、长气管(35)均是外径为8mm的塑料软管。
6.根据权利要求1所述的光伏叠放硅片取片装置,其特征在于,所述承载底板(1)为聚丙烯板,在聚丙烯板上垫设有瓦楞板缓冲层(6)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造