[实用新型]膜体与集成电路分离装置

权利要求书

1.一种膜体与集成电路分离装置，其系供一膜体设置，该膜体的一面贴附有至少一集成电路，其特征在于：所述膜体与集成电路分离装置具有：

一承台，其具有至少一凹槽，各凹槽的底端具有一穿孔；

一吹气单元，其系升降地设于所述承台的下方；以及

一吸取单元，其系升降地设于所述承台的上方，该吸取单元具有至少一吸取头；

其中，所述膜体的另一面贴附于所述承台，各集成电路相对于各凹槽；所述吹气单元系提供一高压气体给所述承台，而使所述膜体产生变形；所述吸取单元系提供一负压气体给所述吸取头，使膜体与集成电路相互分离，以使吸取单元的吸取头吸取该集成电路。

2.根据权利要求1所述膜体与集成电路分离装置，其特征在于：所述吹气单元具有至少一吹针与一供气与升降模块，该吹针的一端系贴附于该承台的底端，并相对于该穿孔，所述供气与升降模块系耦接该吹针的另一端。

3.根据权利要求2所述膜体与集成电路分离装置，其特征在于：所述吹针具有一吹孔。

4.根据权利要求1所述膜体与集成电路分离装置，其特征在于：所述吸取单元还具有一负压与升降模块，所述吸取头系相对于所述穿孔，所述负压与升降模块系耦接所述吸取头的一端。

5.根据权利要求4所述膜体与集成电路分离装置，其特征在于：所述吸取头具有一吸孔。

6.根据权利要求4所述膜体与集成电路分离装置，其特征在于：所述吸取单元还具有至少一罩盖，该罩盖系设于所述吸取头的另一端。